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[實用新型]用于支撐邊緣環(huán)的載體和機械葉片有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201821554985.2 申請日: 2018-09-21
公開(公告)號: CN209571382U 公開(公告)日: 2019-11-01
發(fā)明(設(shè)計)人: Y·薩羅德維舍瓦納斯;S·E·巴巴揚;S·D·普勞蒂;A·施密特 申請(專利權(quán))人: 應(yīng)用材料公司
主分類號: H01J37/32 分類號: H01J37/32
代理公司: 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100 代理人: 侯穎媖;金紅蓮
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 機械葉片 支撐邊緣 插口 弓形支撐 指狀物 基部載體 脫氣腔室 載體接合 支撐結(jié)構(gòu) 支撐載體 接合 中支撐 基部
【權(quán)利要求書】:

1.一種用于支撐邊緣環(huán)的載體,其特征在于,所述載體包括:

板,具有周邊,所述周邊包括兩個相對的彎曲邊緣;

第一多個插口,設(shè)置在所述板中,其中每個插口被配置為在所述插口中接收升降桿;

第二多個插口,設(shè)置在所述板中,其中每個插口被配置為接合支撐結(jié)構(gòu);

第一弓形支撐結(jié)構(gòu),耦接到所述兩個相對的彎曲邊緣中的一個,所述第一弓形支撐結(jié)構(gòu)在所述板的上表面的平面上方延伸;和

第二弓形支撐結(jié)構(gòu),耦接到所述兩個相對的彎曲邊緣中的另一個,所述第二弓形支撐結(jié)構(gòu)在所述板的所述上表面的所述平面上方延伸。

2.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述板包括半圓形板,所述半圓形板具有由兩個平行邊緣限定的所述周邊,其中所述兩個相對的彎曲邊緣耦接所述兩個平行邊緣。

3.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述第一多個插口相對于所述第二多個插口從所述板的中心徑向向內(nèi)定位。

4.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述第一多個插口中的每一個包括設(shè)置在所述板的孔內(nèi)的帽。

5.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述第一多個插口中的每一個包括主體,所述主體具有延伸到所述主體中的凹陷,并且其中所述凹陷包括橢圓形或拋物線形狀。

6.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述第二多個插口中的每一個包括設(shè)置在所述板中的開口內(nèi)的主體,所述主體包括相對于所述主體具有增大的外徑的喇叭形部分和穿過所述主體形成的孔。

7.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述板包括穿過其形成的多個開口。

8.如權(quán)利要求1所述的載體,其中所述第一弓形支撐結(jié)構(gòu)和所述第二弓形支撐結(jié)構(gòu)中的每一個包括形成在它們徑向向外邊緣上的臺階狀表面。

9.如權(quán)利要求8所述的載體,其特征在于,每個臺階狀表面包括平行于所述板的所述上表面定位的支撐表面和定位在所述支撐表面的徑向向內(nèi)的位置并垂直于所述板的所述上表面取向的豎直壁。

10.一種機械葉片,其特征在于,所述機械葉片包括:

基部;

兩個指狀物,從所述基部延伸;

基部載體接合特征,耦接到所述基部的上表面;和

指狀物載體接合特征,每個指狀物載體接合特征都耦接到所述兩個指狀物中的相應(yīng)一個的上表面。

11.如權(quán)利要求10所述的機械葉片,其特征在于,所述機械葉片還包括輥,所述輥被配置為從所述基部并朝向所述兩個指狀物致動。

12.如權(quán)利要求10所述的機械葉片,其中:

所述基部載體接合特征包括形成在所述基部的所述上表面上的接合支柱;

所述指狀物載體接合特征各自包括形成在每個相應(yīng)指狀物的所述上表面上的接合支柱。

13.如權(quán)利要求10所述的機械葉片,其特征在于,所述基部載體接合特征包括耦接到所述基部的上表面的基墊。

14.如權(quán)利要求10所述的機械葉片,其特征在于,所述指狀物載體接合特征各自包括設(shè)置在所述相應(yīng)指狀物的遠端處的端墊。

15.如權(quán)利要求10所述的機械葉片,其特征在于:

所述基部包括在其上表面上形成的升高脊部;

每個指狀物包括在其遠端處形成在所述指狀物上表面上的升高脊部;和

所述兩個指狀物的所述升高脊部和所述基部的所述升高脊部是共圓的弧。

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