[實用新型]一種兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路有效
| 申請號： | 201821553908.5 | 申請日： | 2018-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN208968672U | 公開（公告）日： | 2019-06-11 |
| 發明（設計）人： | 陳立;樊子宇 | 申請（專利權）人： | 深圳市樂夷微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京眾元弘策知識產權代理事務所(普通合伙) 11462 | 代理人： | 孫東風 |
| 地址： | 518101 廣東省深圳市寶安區西鄉街道寶*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光敏傳感元件 硅基 光學濾波元件 信號處理電路 透光膜 傳感 多層 光敏 集成電路 本實用新型 兼容 照射 微型化 低成本 集成化 轉換 過濾 放大 輸出 | ||
【權利要求書】：
1.一種兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路，包括光敏傳感元件，其特征在于，還包括用于設置光敏傳感元件的硅基；
在所述硅基上還設置有光學濾波元件和信號處理電路；
當光信號照射到所述光學濾波元件時，經過所述光學濾波元件過濾選擇的光信號照射到所述光敏傳感元件，并被所述光敏傳感元件轉換為電信號，該電信號經所述信號處理電路的選擇、放大、轉換后輸出。
2.如權利要求1所述的兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路，其特征在于，所述光敏傳感元件為多個呈陣列形式排列的硅基光敏二極管。
3.如權利要求1所述的兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路，其特征在于，所述光學濾波元件為TiO2/SiO2納米多層膜。
4.如權利要求3所述的兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路，其特征在于，所述TiO2/SiO2納米多層膜以磁控濺射方式形成于硅基上，并對應分布于所述光敏傳感元件的光學接收區域。
5.如權利要求3所述的兼容多層光學透光膜的硅基光敏傳感集成電路，其特征在于，所述TiO2/SiO2納米多層膜以蒸發淀積方式形成于硅基上，并對應分布于所述光敏傳感元件的光學接收區域。
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