[實用新型]一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構

有效

• 申請號: 201821552469.6
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN211814708U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 楊光宇
• 申請（專利權）人: 銳捷芯盛（天津）電子科技有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構，包括固定底座，所述固定底座頂部固定連接有夾持裝置，所述夾持裝置包括支撐筒、定位桿、限位塊、轉動頭、卡接件、支撐板、擋板、定位塊、轉軸、滾動柱和緩沖件，所述固定底座固定套接在支撐筒外側，且支撐筒內部設有通孔，所述定位桿設有三個，且三個定位桿等角度固定在固定底座頂部，所述定位桿位于支撐筒外側，且限位塊固定連接在定位桿頂部，所述轉動頭通過銷軸與限位塊鉸接，此區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構，通過支撐筒外側三個滾動柱，從而對單晶硅棒進行夾持穩定，同時三個滾動柱在長期使用后可以快速更換，提高了單晶硅棒的生產速率。

技術領域

本實用新型涉及區熔單晶爐技術領域，具體為一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構。

背景技術

區熔法制備單晶體硅棒，主要是提純和生長硅單晶，其原理是：依靠熔體的表面張力，使熔區懸浮于多晶體棒與下方生長出的單晶體之間，通過熔區向上移動而進行提純和生長單晶。

但由于外界環境因素產生的振動及區熔單晶爐運行產生的振動，會使正在生長的單晶體產生晃動，特別是大尺寸單晶體晃動尤為明顯，嚴重影響單晶體生長穩定性。

根據專利號201220547214.7，本實用新型涉及區熔單晶生長爐技術領域，特別涉及一種晶體夾持裝置和區熔單晶爐，用于減輕單晶體生長過程中產生的晃動，提高單晶體生長穩定性，本實用新型公開了一種晶體夾持裝置，包括：夾晶固定盤，設置于夾晶固定盤中部的鎖晶固定套，設置于夾晶固定盤周邊用于對單晶體進行第一次夾持的多個晶體夾持片機構，以及設置于夾晶固定盤周邊用于對單晶體進行第二次夾持的多個晶體夾持棒機構，在本實用新型中，利用晶體夾持片機構和晶體夾持棒機構對生長過程中的單晶體進行兩次夾持，減輕單晶體生長過程中產生的晃動，從而提高單晶體生長穩定性。本實用新型同時還公開了一種區熔單晶爐，包括具有上述技術特征的晶體夾持裝置，但是由于在夾持單晶硅棒的過程中，單晶硅棒表面溫度較高，容易損傷與單晶硅棒接觸的夾持頭，因此要經常更換夾持頭，而由于上述夾持頭不便于拆卸，從而降低單晶硅棒的生產效率，同時在夾持件夾持的過程中，結構復雜，增加生產成本，為此，我們提出一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種區熔單晶爐單晶硅棒夾持機構，包括固定底座，所述固定底座頂部固定連接有夾持裝置，所述夾持裝置包括支撐筒、定位桿、限位塊、轉動頭、卡接件、支撐板、擋板、定位塊、轉軸、滾動柱和緩沖件，所述固定底座固定套接在支撐筒外側，且支撐筒內部設有通孔，所述定位桿設有三個，且三個定位桿等角度固定在固定底座頂部，所述定位桿位于支撐筒外側，且限位塊固定連接在定位桿頂部，所述轉動頭通過銷軸與限位塊鉸接，且轉動頭靠近支撐筒的一側通過卡接件與支撐板卡接，所述擋板的一側與支撐板遠離轉動頭的一端固定連接，且擋板的另一側對稱固定有兩個定位塊，所述轉軸的兩端分別與兩個定位塊相互靠近的一側固定連接，且滾動柱通過軸承轉動套接在轉軸的外側，所述轉動頭遠離支撐筒的一側與緩沖件固定連接，且緩沖件與定位桿固定連接。

優選的，所述卡接件設有兩個，且兩個卡接件對稱固定在轉動頭外側。

優選的，所述卡接件包括卡接桿、定位殼和緩沖彈簧，所述卡接桿通過銷軸與定位殼鉸接，且定位殼與轉動頭外側固定連接，所述緩沖彈簧的一端與轉動頭固定連接，且緩沖彈簧的另一端與卡接桿固定連接，所述轉動頭內部對稱設有兩個開口，且支撐板外側對應開口的位置設有凹槽，所述卡接桿遠離緩沖彈簧的一端通過開口與凹槽卡接。

優選的，所述緩沖件包括緩沖筒、連接板、連接桿、支撐座和限位彈簧，所述緩沖筒通過連接板與定位桿固定連接，且連接桿與緩沖筒滑動連接，所述連接桿遠離緩沖筒的一端與支撐座固定連接，且轉動頭通過銷軸與支撐座鉸接，所述限位彈簧滑動套接在連接桿的外側，且限位彈簧的兩端分別與緩沖筒和支撐座固定連接。

優選的，所述卡接桿為L型桿。