[實用新型]半導體晶圓切割裝置有效
| 申請號： | 201821548623.2 | 申請日： | 2018-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN209566366U | 公開（公告）日： | 2019-11-01 |
| 發明（設計）人： | 鄭曉波;方俊;梁瑤 | 申請（專利權）人： | 揚州揚杰電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 周全;葛軍 |
| 地址： | 225008 江蘇省揚*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 切割裝置 半導體晶圓 支撐組件 立架 繞軸 托盤 橫板 晶圓 電機 半導體制造技術 旋轉活動連接 本實用新型 電機驅動 定位組件 拉繩連接 平行設置 切割組件 收卷機構 定位桿 撐架 橫端 劃片 豎板 加工 | ||
1.半導體晶圓切割裝置，其特征在于，包括立架、支撐組件、切割組件和定位組件，
所述立架呈n形、具有橫板和一對平行設置的豎板；
所述支撐組件設在立架內、位于橫板的下方，所述支撐組件包括基座，所述基座上設有用于放置晶圓的托盤，所述托盤旋轉活動連接在基座上；
所述切割組件包括液壓缸、滑桿和切割頭，所述液壓缸設在橫板上，所述橫板上設有滑槽，所述滑桿呈十字形、具有豎桿和橫桿，所述豎桿位于滑槽內，所述橫桿位于橫板上，所述切割頭通過支撐桿連接豎桿上，所述切割頭位于橫板和晶圓之間；
所述定位組件包括撐架、若干定位桿和收卷機構，所述撐架呈n形、具有橫端和一對豎端，所述撐架設在橫板上，所述滑桿位于撐架的橫端下方，所述撐架的橫端設有若干通孔，所述定位桿一一對應設在通孔內，所述定位桿呈倒T形，相鄰定位桿之間的間距為晶粒寬度；
所述收卷機構包括電機和繞軸，所述電機設在撐架的橫端上，所述電機驅動繞軸，若干定位桿的頂端分別通過拉繩連接繞軸。
2.根據權利要求1所述的半導體晶圓切割裝置，其特征在于，所述基座上設有容置槽，所述容置槽內設有垂直設置的旋轉電機，所述旋轉電機的驅動軸連接托盤。
3.根據權利要求1所述的半導體晶圓切割裝置，其特征在于，所述托盤的截面呈U字形。
4.根據權利要求3所述的半導體晶圓切割裝置，其特征在于，所述晶圓的高度高于托盤中間容置槽的高度。
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