[實用新型]一種便于更換探針的晶元片檢測頭

有效

• 申請號: 201821538345.2
• 申請日: 2018-09-20
• 公開（公告）號: CN208953583U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 湯慧敏
• 申請（專利權）人: 普鑠電子（上海）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及自動化檢測技術領域，公開了一種便于更換探針的晶元片檢測頭，包括U形座，U形座的上端設有連接柱，U形座內設有左夾持塊、右夾持塊，左夾持塊通過左滑銷與U形座的左側連接，右夾持塊通過右滑銷與U形座的右側連接，左夾持塊、右夾持塊的上端之間設有螺桿，螺桿上設有兩端旋向相反的螺紋，螺桿的右端穿過U形座，螺桿的右端端面設有六角孔；左夾持塊、右夾持塊的下端相對的側面一一對應設有六道相互平行的V形限位槽，每組V形限位槽內均設有探針。整個晶元片檢測頭與檢測設備連接方便，整個檢測頭更換方便，每根探針的拆卸、更換也非常方便，極大的縮短了探針更換時間，提高了晶元片檢測效率。

技術領域

本實用新型涉及自動化檢測技術領域，尤其涉及一種便于更換探針的晶元片檢測頭。

背景技術

普通硅砂拉制提煉，經過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經過拋光、切片之后，就成為了晶元片。晶元是生產集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，一個圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，為了將不良的晶元篩選掉，防止后續制成不良的芯片，晶元在封裝制造成芯片之前必須要對所有的晶元進行檢測，通常每個晶元片上存在成百上千個晶元，人工檢測工作量大，而且容易漏檢，目前為了降低成本、提高檢測效率，通常采用檢測設備進行檢測，探針是晶元片檢測設備上的重要部件，將晶元片固定后，通過探針依次在晶元片表面移動來檢測每個晶元的性能，探針在移動過程中難免與晶元片表面接觸、摩擦，因此探針檢測一定量的晶元后需要進行更換，目前檢測頭上的探針更換麻煩，從而降低檢測效率。

實用新型內容

本實用新型為了解決現有技術中存在的上述問題，提供了一種便于更換探針的晶元片檢測頭，該種檢測頭中采用六根探針組合而成，檢測效率高，單根探針更換非常方便。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種便于更換探針的晶元片檢測頭，包括開口朝下的U形座，所述U形座的上端設有連接柱，所述U形座內設有左夾持塊、右夾持塊，所述左夾持塊通過左滑銷與U形座的左側連接，所述右夾持塊通過右滑銷與U形座的右側連接，所述左夾持塊、右夾持塊的上端之間設有螺桿，所述螺桿的兩端分別與U形座的兩側轉動連接，所述螺桿上設有兩端旋向相反的螺紋，左夾持塊與螺桿左端的螺紋連接，右夾持塊與螺桿右端的螺紋連接，螺桿的右端穿過U形座，所述螺桿的右端端面設有六角孔；所述左夾持塊、右夾持塊的下端相對的側面一一對應設有六道相互平行的V形限位槽，每組V形限位槽內均設有探針，探針的上端設有第一接線插頭，所述U形座的上端側面設有第二接線插頭，每根探針分別與第一接線插頭連接，第一接線插頭與第二接線插頭之間通過排線連接。通過六角螺絲刀轉動螺桿，使得左夾持塊、右夾持塊同步向外移動，然后將六根探針一一對應裝入V形限位槽內，再反向轉動螺桿，左夾持塊、右夾持塊相互靠近夾持探針，最后將第一接線插頭與六根探針的上端一一對應連接；使用時，連接柱與檢測設備上的夾頭連接，第二接線插頭通過數據線與檢測設備上的數據端口連接；整個檢測頭與檢測設備連接、拆卸非常方便，探針磨損后，更換也非常方便。

作為優選，所述左夾持塊的上端內側設有左避讓缺口，所述右夾持塊的上端內側設有右避讓缺口。

作為優選，所述U形座的右側設有限位套，所述螺桿的右端穿過限位套，所述限位套的側面設有鎖止螺栓。

作為優選，所述左滑銷、右滑銷的內端均設有限位凸環，左滑銷的外端與U形座的左側固定連接，所述的右滑銷外端與U形座的右側固定連接；所述左滑銷上位于U形座與左滑塊之間的部位設有左壓簧，所述右滑銷上位于U形座與右滑塊之間的部位設有右壓簧。左壓簧、右壓簧起到預緊作用，防止使用過程中，左夾持塊、右夾持塊發生松動。

因此，本實用新型中，整個晶元片檢測頭與檢測設備連接方便，整個檢測頭更換方便，每根探針的拆卸、更換也非常方便，極大的縮短了探針更換時間，提高了晶元片檢測效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種結構示意圖。