[實用新型]一種高穩定性單晶硅壓差傳感器有效
| 申請號： | 201821535511.3 | 申請日： | 2018-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN208606931U | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發明（設計）人： | 劉爽;張立;陳志偉 | 申請（專利權）人： | 劉爽 |
| 主分類號： | G01L13/06 | 分類號： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京華識知識產權代理有限公司 11530 | 代理人： | 汪浩 |
| 地址： | 430070 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 傳感器 傳感器芯片 壓差傳感器 負壓腔 正壓腔 高穩定性 傳感器連接通道 本實用新型 傳感器接口 測量管路 變送器 進油管 有壓力 傳感器領域 靜壓 左端 | ||
1.一種高穩定性單晶硅壓差傳感器，包括傳感器正壓腔（1）和傳感器負壓腔（2），其特征在于：所述傳感器正壓腔（1）右側與單晶硅傳感器芯片（3）左側固定連接，所述單晶硅傳感器芯片（3）右側與傳感器負壓腔（2）左側固定連接，所述傳感器正壓腔（1）上端左側設置有正壓腔進油管（12），所述傳感器負壓腔（2）上端右側設置有負壓腔進油管（13），所述傳感器正壓腔（1）和傳感器負壓腔（2）里設置有硅油（14），所述單晶硅傳感器芯片（3）與傳感器接口A（4）之間通過傳感器連接通道A（6）固定連接，所述單晶硅傳感器芯片（3）與傳感器接口B（5）之間通過傳感器連接通道B（7）固定連接；
所述傳感器正壓腔（1）內部左端設置有壓力變送器A（15），所述壓力變送器A（15）右側中部與測量管路A（19）一端固定連接，所述測量管路A（19）另一端與單晶硅傳感器芯片（3）左側中部固定連接，所述傳感器負壓腔（2）內部右端設置有壓力變送器B（16），所述壓力變送器B（16）左側中部與測量管路B（20）一端固定連接，所述測量管路B（20）另一端與單晶硅傳感器芯片（3）右側中部固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種高穩定性單晶硅壓差傳感器，其特征在于：所述單晶硅傳感器芯片（3）上端與傳感器連接通道A（6）之間設置有芯片硅膜區A（8），所述單晶硅傳感器芯片（3）下端與傳感器連接通道B（7）之間設置有芯片硅膜區B（9）。
3.根據權利要求1所述的一種高穩定性單晶硅壓差傳感器，其特征在于：所述傳感器正壓腔（1）左側設置有隔離波紋片A（17），所述傳感器負壓腔（2）右側設置有隔離波紋片B（18）。
4.根據權利要求1所述的一種高穩定性單晶硅壓差傳感器，其特征在于：所述傳感器正壓腔（1）和單晶硅傳感器芯片（3）之間設置有過壓保護膜A（10），所述傳感器負壓腔（2）和單晶硅傳感器芯片（3）之間設置有過壓保護膜B（11）。
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