[實用新型]一種陶瓷靶材加工用燒結裝置

有效

• 申請號: 201821532898.7
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN209246652U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 陳魁;趙小虎;陳躬德
• 申請（專利權）人: 福建省創飛新材料科技有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14;F27B5/18;C04B35/64
• 代理公司: 福州盈創知識產權代理事務所(普通合伙) 35226
• 代理人: 李明通

1.一種陶瓷靶材加工用燒結裝置，其特征在于：包括前端傳送裝置（1）、燒結腔（2）、真空發生裝置（3）、靶材坯體（4）；

所述前端傳送裝置（1）包括滾輪（11）、驅動裝置（12）、皮帶（13）、皮帶輪（14）、輸送帶（15），所述滾輪（11）設在所述前端傳送裝置（1）的底部，所述驅動裝置（12）通過所述皮帶（13）和所述皮帶輪（14）連接，所述皮帶輪（14）上設有所述輸送帶（15）；

所述燒結腔（2）為立式腔體，所述燒結腔（2）設于所述前端傳送裝置（1）的傳送末端，上蓋（23）通過加固密封件（24）加固在所述燒結腔（2）的頂部，所述上蓋（23）的外側上設有壓力傳感器（22），液壓系統（21）設在所述燒結腔（2）的上方，所述液壓系統（21）包括設在所述燒結腔（2）內部的下壓桿（211），所述下壓桿（211）和連接桿（212）相連，所述連接桿（212）的下方設有下壓模具（213），所述下壓模具（213）的形狀和靶材坯體（4）的形狀相互匹配，所述燒結腔（2）兩側側壁上設有保溫層（25），所述燒結腔（2）的另外兩側側壁上設有加熱裝置（26），所述燒結腔（2）的兩側出口分別設有第一推拉式倉門（27）和第二推拉式倉門（28），所述燒結腔（2）底部設有放置平臺（29），所述靶材坯體（4）放置在放置平臺（29）上。

2.根據權利要求1所述的一種陶瓷靶材加工用燒結裝置，其特征在于：所述的加熱裝置（26）的加熱方式包括電阻絲加熱方式、硅碳棒加熱方式、硅鉬棒加熱方式中其中的一種，所述加熱裝置（26）為蛇形管設置。

3.根據權利要求1所述的一種陶瓷靶材加工用燒結裝置，其特征在于：所述的燒結腔（2）的加熱溫度保持在1000-1600℃之間，所述燒結腔（2）內部設有測溫元件，所述測溫元件包括熱電偶。

4.根據權利要求1所述的一種陶瓷靶材加工用燒結裝置，其特征在于：所述的燒結腔（2）內的所述下壓桿（211）、所述連接桿（212）、所述下壓模具（213）、所述放置平臺（29）均為耐高溫材料制成。