[實用新型]一種可調角度靶材磨斜邊機有效

申請號：	201821528063.4	申請日：	2018-09-18
公開（公告）號：	CN208866919U	公開（公告）日：	2019-05-17
發明（設計）人：	陸映東;張倍維;梁盈祥;覃當鳳	申請（專利權）人：	廣西晶聯光電材料有限責任公司
主分類號：	B24B9/06	分類號：	B24B9/06
代理公司：	柳州市榮久專利商標事務所(普通合伙) 45113	代理人：	韋微
地址：	545616 廣西壯族自治區柳州市柳***	國省代碼：	廣西;45
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摘要：
搜索關鍵詞：	電動滑臺靶材本實用新型電動旋轉軸滑動安裝磨頭電機磨斜邊機工作臺可調斜邊磨頭加工
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【說明書】：

本實用新型涉及一種可調角度靶材磨斜邊機，包括工作臺、機架、Y軸電動滑臺、X軸電動滑臺和兩個Z軸電動滑臺，所述Y軸電動滑臺安裝在機架上，工作臺滑動安裝在Y軸電動滑臺上，X軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺一側的機架上，一個Z軸電動滑臺滑動安裝在X軸電動滑臺上，另一個Z軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺另一側的機架上，兩個Z軸電動滑臺上均設置有電動旋轉軸，電動旋轉軸上安裝有磨頭電機，磨頭電機上安裝有磨頭。本實用新型可以在0?180度范圍內精確控制磨斜邊角度，實現精確快速的各種角度靶材磨斜邊加工；具有精度好，效率高的優點。

技術領域

本實用新型涉及一種磨斜邊設備，特別涉及一種可調角度靶材磨斜邊機。

背景技術

部分TFT靶材為了減少鍍膜時產生顆粒，會將靶材的邊緣制作成斜面，并處理成粗糙面，用于吸附回濺物。由于每個廠家的設備和工藝磁場范圍不一樣，所以斜面的大小和角度也不一樣。靶材生產廠家是通過制作不同角度的工裝進行機械或人工的打磨，精度差，效率低。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種可調角度靶材磨斜邊機，該靶材磨斜邊機可對靶材在0-180度的范圍內進行各種角度磨斜邊，精度好，效率高，解決了上述現有技術中存在的問題。

解決上述技術問題的技術方案是：一種可調角度靶材磨斜邊機，包括工作臺、機架、Y軸電動滑臺、X軸電動滑臺和兩個Z軸電動滑臺，所述Y軸電動滑臺安裝在機架上，工作臺滑動安裝在Y軸電動滑臺上，X軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺一側的機架上，一個Z軸電動滑臺滑動安裝在X軸電動滑臺上，另一個Z軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺另一側的機架上，兩個Z軸電動滑臺上均設置有電動旋轉軸，電動旋轉軸上安裝有磨頭電機，磨頭電機上安裝有磨頭。

所述機架是由橫向架和縱向架構成的十字形架，Y軸電動滑臺安裝在縱向架上，X軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺一側的橫向架上，一個Z軸電動滑臺滑動安裝在X軸電動滑臺上，另一個Z軸電動滑臺安裝在位于Y軸電動滑臺另一側的橫向架上。

所述工作臺中部具有用于放置工件的凸臺，工作臺邊緣具有擋板。

由于采用上述技術方案，本實用新型具有以下有益效果：

1、本實用新型的磨頭電機是通過電動旋轉軸安裝在Z軸電動滑臺上，通過電動旋轉軸的轉動可以調節磨頭電機的磨斜邊角度，再配合Y軸電動滑臺、X軸電動滑臺、Z軸電動滑臺，可以在0-180度范圍內精確控制磨斜邊角度，實現精確快速的各種角度靶材磨斜邊加工。

2、與現在采用工裝進行靶材磨斜邊的方式相比，本實用新型的加工效率明顯提高，且精度也更高。

下面結合附圖和實施例對本實用新型之一種可調角度靶材磨斜邊機的技術特征作進一步的說明。

附圖說明

圖1：本實用新型之可調角度靶材磨斜邊機立體圖。

圖2：本實用新型之可調角度靶材磨斜邊機俯視圖。

圖3：本實用新型之可調角度靶材磨斜邊機主視圖。

圖4：本實用新型之可調角度靶材磨斜邊機右視圖。

圖中：1- Z軸電動滑臺Ⅰ，2- Z軸電動滑臺Ⅱ，3- X軸電動滑臺，4-磨頭電機，5-電動旋轉軸，6-磨頭，7-工作臺，71-凸臺，72-擋板，8-Y軸電動滑臺，9-機架，91-縱向架，92-橫向架。