[實用新型]一種用于多穴電阻蒸發裝置

有效

• 申請號: 201821523611.4
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN208762570U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 朱選敏;郭愛云
• 申請（專利權）人: 武漢科瑞達真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 郭官厚

1.一種用于多穴電阻蒸發裝置，包括有阻蒸接線柱(1)、安裝柱(5)、阻蒸坩堝(7)、坩堝托盤(8)、托盤轉軸(9)、腔體(11)、步進電機(12)，所述坩堝托盤(8)通過托盤轉軸(9)安裝在磁流體(10)上，所述安裝柱(5)安裝在腔體(11)上，所述托盤轉軸(9)由步進電機(12)帶動，其特征在于：所述坩堝托盤(8)上圍繞托盤邊緣位置均勻安裝有多個圓形的阻蒸坩堝(7)，所述阻蒸坩堝(7)底部對應位置安裝有一個圓形的加熱盤(6)；所述安裝柱(5)下端通過有聯軸環(4)固定在絕緣套(3)內，再通過鎖緊螺母(2)固定。

2.根據權利要求1所述的一種用于多穴電阻蒸發裝置，其特征在于：所述阻蒸接線柱(1)安裝在安裝柱(5)頂端，且由兩根相同的安裝柱(5)將加熱盤(6)支撐固定，同時，加熱盤內均勻設有加熱電阻絲。

3.根據權利要求1所述的一種用于多穴電阻蒸發裝置，其特征在于：所述托盤轉軸(9)上安裝有磁流體(10)。