[實用新型]一種高效的光學真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201821522349.1
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN208685052U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 徐耀春
• 申請（專利權）人: 江西弘耀光學水晶有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 南昌卓爾精誠專利代理事務所(普通合伙) 36133
• 代理人: 羅茶根

本實用新型公開了一種高效的光學真空鍍膜機，包括密封箱，所述密封箱的內壁固定連接有與密封箱相適配的支撐板，所述支撐板的上表面開設有等距離排列的通孔，所述密封箱的內壁固定連接有與密封箱相適配的隔板，且隔板位于支撐板的上方，所述隔板的底面固定鑲嵌有軸承，所述軸承的內圈固定連接有第一導管。該高效的光學真空鍍膜機，通過支撐座上表面固定連接的電機，以及支撐箱底面固定連通的分流罩之間相配合，能夠使鍍膜靶材快速均勻的覆蓋在鍍膜基材的上表面，有效降低鍍膜靶材均勻的覆蓋在鍍膜基材上表面所用的時間，有效提升在對鍍膜基材進行鍍膜時的效率，有效提高真空鍍膜機整體的使用效果。

技術領域

本實用新型涉及光學加工技術領域，具體為一種高效的光學真空鍍膜機。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延和PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

在對鍍膜基材鍍膜的過程中會使用到真空鍍膜機，但現有的真空鍍膜機在對鍍膜靶材進行加熱過后沒有分流措施，蒸發后的鍍膜靶材重量較輕，當鍍膜靶材均勻覆蓋在鍍膜基材上表面時，所用的時間較長，進而造成真空鍍膜機效率的低下，因此現推出一種高效的光學真空鍍膜機。

實用新型內容

（一）解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種高效的光學真空鍍膜機，解決了現有真空鍍膜機效率低下的問題。

（二）技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種高效的光學真空鍍膜機，包括密封箱，所述密封箱的內壁固定連接有與密封箱相適配的支撐板，所述支撐板的上表面開設有等距離排列的通孔，所述密封箱的內壁固定連接有與密封箱相適配的隔板，且隔板位于支撐板的上方，所述隔板的底面固定鑲嵌有軸承，所述軸承的內圈固定連接有第一導管，所述第一導管的底面固定連通有支撐箱，所述支撐箱的底面固定連通有等距離排列的分流罩，所述第一導管的上表面固定連通有導流罩，所述第一導管的外表面固定連接有第一錐齒輪，所述隔板的上表面固定連接有支撐座，所述支撐座的上表面固定連接有電機，所述電機的輸出端固定連接有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪的外表面與第一錐齒輪的外表面相嚙合，所述電機的上表面固定連接有電機控制器，所述密封箱的內頂壁固定連接有儲料箱，所述儲料箱的底面固定連通有第二導管，所述第二導管遠離儲料箱的一端延伸至導流罩的內部，所述儲料箱的內頂壁固定連接有加熱器，所述儲料箱的上表面固定連通有加料管，所述加料管的頂端貫穿密封箱并延伸至密封箱的上方，所述加料管遠離密封箱的一端套設有密封蓋，所述密封蓋的內壁與加料管的外表面均開設有螺紋，且密封蓋的內壁與加料管的外表面螺紋連接，所述密封箱左側面的底部固定連接有保護罩，所述保護罩的內側壁固定連接有真空泵，所述真空泵的輸入端固定連通有抽氣管，所述抽氣管遠離真空泵的一端貫穿密封箱并延伸至密封箱的內部，且抽氣管位于支撐板的下方，所述真空泵的輸出端固定連通有排氣管，所述排氣管遠離真空泵的一端貫穿保護罩并延伸至保護罩的下方。

優選的，所述密封箱的底面固定連接有兩個相對稱的底座，每個所述底座的底面均固定連接有防滑墊。

優選的，所述第一錐齒輪的齒牙數量大于第二錐齒輪的齒牙數量，且第一錐齒輪的齒牙間隙與第二錐齒輪的齒牙間隙相等。

優選的，所述保護罩的上表面開設有通風孔，且通風孔位于保護罩上表面的中部。

優選的，所述支撐板的下方設有單向閥，所述單向閥的左側面與抽氣管的右側面固定連通。

優選的，所述密封蓋的內頂壁固定連接有密封墊，所述密封墊的底面與加料管的上表面相接觸。

（三）有益效果

本實用新型提供了一種高效的光學真空鍍膜機，具備以下有益效果：