[實用新型]一種潔凈廠房生產區溫度控制系統

有效

• 申請號: 201821521718.5
• 申請日: 2018-09-17
• 公開（公告）號: CN208967916U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發明（設計）人: 楊良生;華來珍;胡昌軍;石磊;張小軍;聶延齋;李光光;杜勝利;周晨
• 申請（專利權）人: 中國電子系統工程第二建設有限公司
• 主分類號: F24D19/10
• 分類號: F24D19/10
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 程爽

本實用新型提供一種潔凈廠房生產區溫度控制系統，包括干盤管組、混水泵、壓力表、開關、電磁閥、溫度檢測儀、潔凈廠房生產區。其中，所述干盤管組的進水管上連接有所述混水泵且出水管末端連接有電磁閥，所述干盤管組的出水管上設置有所述壓力表。所述電磁閥和所述壓力表之間的管道分出支管且支管連接在進水管上且位于所述混水泵遠離所述干盤管組的一端，所述潔凈廠房生產區內設置有溫度檢測儀，所述溫度檢測儀與所述電磁閥電性連接。本實用新型通過設置混水泵、高精度溫度變送器、電磁閥將工藝生產區溫度控制精度由原來偏差高于0.5℃降至偏差低于0.2℃的范圍內，且在此精度偏差范圍內持續穩定，改善了工藝生產對溫度波動敏感的實際需求。

技術領域

本實用新型涉及一種電子半導體類潔凈廠房暖通自動控制技術領域，具體涉及一種潔凈廠房生產區溫度控制系統。

背景技術

在大型電子半導體生產廠房中，為保證潔凈生產區工藝設備的正常運行，穩定的溫濕度控制為其必要條件之一。對于大空間、溫度控制精度要求不高的場合，通常采用溫度變送器+DCC(干盤管)直接組合的方式。但對于某些溫度控制精度比較高的工藝區域(±0.2℃內)，由于其供回水溫差較大，受控區域室內熱負荷較小，通過調節回水電動水閥開度以調節干盤管內水流量，即大溫差小流量的方式，室內負荷稍有變化時，很容易使得溫度參數控制不穩定，上下波動偏差大，實踐證明溫度控制效果不佳。

實用新型內容

本實用新型提供一種潔凈廠房生產區溫度控制系統，以解決現有技術存在的工藝生產區溫度控制精度偏差大的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種潔凈廠房生產區溫度控制系統，包括干盤管組、混水泵、壓力表、開關、電磁閥、溫度檢測儀、潔凈廠房生產區。其中，所述干盤管組的進水管上連接有所述混水泵且出水管末端連接有電磁閥，所述干盤管組的出水管上設置有所述壓力表。所述電磁閥和所述壓力表之間的管道分出支管且支管連接在進水管上且位于所述混水泵遠離所述干盤管組的一端，所述潔凈廠房生產區內設置有溫度檢測儀，所述溫度檢測儀與所述電磁閥電性連接。

所述混水泵為兩個，所述兩個混水泵并列連接在進水管上。

所述溫度檢測儀的變送單元為高精度溫度變送器。

所述高精度溫度變送器使用的探測單元高精度型溫度探頭。

本實用新型帶來的有益效果：本實用新型提供的一種潔凈廠房生產區溫度控制系統通過設置混水泵、高精度溫度變送器、電磁閥將工藝生產區溫度控制精度由原來偏差高于0.5℃降至偏差低于0.2℃的范圍內，且在此精度偏差范圍內持續穩定，改善了工藝生產對溫度波動敏感的實際需求。

附圖說明

圖1是根據本實用新型實施例的潔凈廠房生產區溫度控制系統的整體結構示意圖。

其中，1-干盤管組，2-混水泵，3-壓力表，4-開關，5-電磁閥，6-溫度檢測儀，7-潔凈廠房生產區。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，以下結合附圖及具體實施例，對本實用新型作進一步地詳細說明。

本實用新型提供的一種潔凈廠房生產區溫度控制系統，包括干盤管組1、混水泵2、壓力表3、開關4、電磁閥5、溫度檢測儀6、潔凈廠房生產區7。其中，所述干盤管組1的進水管上連接有所述混水泵2且出水管末端連接有電磁閥5，所述干盤管組1的出水管上設置有所述壓力表3。所述電磁閥5和所述壓力表3之間的管道分出支管且支管連接在進水管上且位于所述混水泵2遠離所述干盤管組1的一端，所述潔凈廠房生產區7內設置有溫度檢測儀6，所述溫度檢測儀6與所述電磁閥5電性連接。

進一步來說，所述混水泵2為兩個，所述兩個混水泵2并列連接在進水管上，所述溫度檢測儀6的變送單元為高精度溫度變送器，所述高精度溫度變送器使用的探測單元高精度型溫度探頭，所述電磁閥為高分辨率調節型電磁閥。