[實用新型]一種硅粉回收除塵裝置

有效

• 申請號: 201821514051.6
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN208948862U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 何鵬;周昶利;魏楊節;冉祎
• 申請（專利權）人: 四川永祥多晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037;B01D50/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

本實用新型公開一種硅粉回收除塵裝置，包括依次連接的反應爐、旋風分離器、除塵器、硅粉罐，還包括硅粉分離回收裝置與硅粉袋，硅粉分離回收裝置入口與硅粉罐出口連接，硅粉分離回收裝置出口與硅粉袋連接，硅粉分離回收裝置上還設置有排氣孔。本裝置通過多級分離除塵，盡可能收集系統中粒徑不同的硅粉，并通過在硅粉罐卸料口增設硅粉分離回收裝置，有效的避免了在卸料過程中的揚塵以及硅粉的浪費，提高了生產原料的循環利用程度，同時也有益于作業人員的身體健康。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅制備領域，特別涉及一種硅粉回收除塵裝置。

背景技術

多晶硅是制造光伏發電的太陽能電池片的基礎材料。同時，以電子級多晶硅為原料生產的單晶硅是電子信息產業的基礎材料，是生產大規模集成電路、半導體分離元件、電力電子器件的原材料。目前國際上多晶硅生產工藝有70％以上采用改良西門子法。所謂西門子法，也被稱作三氯氫硅氫還原法，是一種在還原爐內通過發生化學反應來生成多晶硅的方法。

三氯氫硅的合成步驟為采用工業硅粉粉碎至80～120目后用蒸汽干燥，經硅粉計量罐加入沸騰爐料斗，通入氯化氫氣體將硅粉帶入沸騰爐，在沸騰爐內反應生成SiHCl₃，同時生成SiCl₄、SiH₂Cl₂、金屬氯化物、聚氯硅烷、氫氣等組分的合成氣，合成氣從合成爐頂部出來，進入干法除塵系統除去部分夾帶硅粉后送入濕法除塵系統，除去氣體中的細小硅塵，水解氣體所含部分金屬氧化物，凈化后合成氣送往合成氣干法分離工序。

而在SiHCl₃干法除塵過程中，無法將細小的硅粉在此步驟中完全除去，并且回收到的部分硅粉，在硅粉罐卸料過程中，容易揚起，導致粉塵污染以及硅粉的浪費。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種硅粉回收除塵裝置，通過多級分離除塵，盡可能手機系統中粒徑不同的硅粉，并通過在硅粉罐卸料口增設硅粉分離回收裝置，有效的避免了在卸料過程中的揚塵以及硅粉的浪費，提高了生產原料的循環利用程度，同時也有益于作業人員的身體健康。

為解決以上技術問題，本實用新型的技術方案為一種硅粉回收除塵裝置，包括依次連接的反應爐、旋風分離器、除塵器、硅粉罐，還包括硅粉分離回收裝置與硅粉袋，硅粉分離回收裝置入口與硅粉罐出口連接，硅粉分離回收裝置出口與硅粉袋連接，硅粉分離回收裝置上還設置有排氣孔。

優選的，硅粉分離回收裝置為硅粉分離回收腔，所述硅粉分離回收腔包括腔體以及設置在腔體內部兩側的阻尼片。

優選的，硅粉分離回收腔的腔體為多面體，其正截面為六邊形。

優選的，腔體兩側的阻尼片向下傾斜，腔體左側的阻尼片與腔體右側的阻尼片相互交叉設置。

優選的，阻尼片與腔體側壁可拆卸連接，阻尼片為多組，兩側壁相對應位置的阻尼片為一組，更為優選的阻尼片為2-3組。

優選的，上述硅粉回收除塵裝置還包括水槽，水槽通過排氣軟管與硅粉分離回收裝置上的排氣孔連通，排氣孔設置于硅粉分離回收腔外側頂部。水槽用于接收硅粉分離回收裝置中分離到的反應氣體。

優選的，旋風分離器包括依次連接第一旋風分離器與第二旋風分離器，第一旋風分離器與反應爐連接，第二旋風分離器與除塵器連接。

優選的，硅粉袋還與回流通道連接，回流通道連通硅粉袋與反應爐，用于將回收的硅粉回流至反應爐中繼續反應。

更為優選的，上述硅粉回收除塵裝置還包括換熱器，換熱器的入口與反應爐出口連接，換熱器出口與第一旋風分離器入口連接。