[實用新型]一種新型半導體行業廢水過濾系統

有效

• 申請號: 201821511736.5
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN209024300U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 丁山清
• 申請（專利權）人: 東莞市華清環保工程有限公司
• 主分類號: C02F9/02
• 分類號: C02F9/02
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271
• 代理人: 殷齊齊

本實用新型公開的一種新型半導體行業廢水過濾系統，包括廢液存儲裝置、一級循環過濾單元和二級過濾單元，所述廢液存儲裝置、一級循環過濾單元和二級過濾單元依次通過管路連接。與現有技術相比，本實用新型提供的一種新型半導體行業廢水過濾系統，采用物理性過濾，減少藥劑費用，不投入藥劑對廢水的影響小，通過復合膜過濾裝置后的廢液再經超濾膜裝置進行凈化處理，保證回用水的水質穩定，凈化處理后的廢水可循環利用；而經復合膜過濾裝置過濾下的濃液再經袋式過濾裝置進行過濾后再重復經過復合膜過濾裝置循環過濾，降低濁度，去除水中的顆粒物再進行超濾膜裝置的凈化處理，如此不斷循環過濾，節省資源，具有一定的經濟效益。

技術領域

本實用新型涉及廢水處理系統技術領域，具體是一種新型半導體行業廢水過濾系統。

背景技術

半導體行業的研磨廢水，常規工藝是通過投加混凝劑以及絮凝劑等藥劑使廢水中的細小懸浮物聚集成沉淀物從而與水分離出來，如此通過一級或二級反應之后的廢水可以達到排放標準排放，污泥通過壓濾機壓濾后送交有資質的單位進行處理。采用傳統方法處理半導體行業研磨廢水需要投加多種藥劑進行反應，投加量也較大，因此產生較高的藥劑費用，而且廢水由于加藥量較大，經過沉淀后會產生大量的污泥，通過壓濾之后污泥量也極大，相應的產生較高的污泥處理費用，通常采用加多種藥劑的處理方法由于需要建造各種水池與設備間，所需占地面積較大。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型半導體行業廢水過濾系統，以解決背景技術中的技術問題。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種新型半導體行業廢水過濾系統，包括廢液存儲裝置、一級循環過濾單元和二級過濾單元，所述廢液存儲裝置、一級循環過濾單元和二級過濾單元依次通過管路連接，所述一級循環過濾單元包括復合膜過濾裝置、濃液存儲裝置和袋式過濾裝置，所述復合膜過濾裝置入料口與所述廢液存儲裝置的出料口連通，所述濃液存儲裝置在所述復合膜過濾裝置和袋式過濾裝置之間，所述濃液存儲裝置的出料口與所述袋式過濾裝置的入料口連接，所述袋式過濾裝置出料口再與所述復合膜過濾裝置連通進行循環過濾；所述二級過濾單元與所述復合膜過濾裝置連通。

所述二級過濾單元包括超濾膜裝置和清液回收裝置，所述超濾膜裝置的出料口與所述清液回收裝置的入料口連通，所述復合膜過濾裝置與所述超濾膜裝置連通。

所述袋式過濾裝置的出料口與所述復合膜過濾裝置之間還設有中間池，所述中間池用于放置經所述袋式過濾裝置過濾后的液體。

所述袋式過濾裝置外接有固體回收裝置，用于回收過濾后的固體顆粒物。

所述濃液存儲裝置與復合膜過濾裝置之間、所述復合膜過濾裝置與濃液存儲裝置之間、所述濃液存儲裝置與袋式過濾裝置之間、所述袋式過濾裝置與中間池之間、所述中間池與復合膜過濾裝置之間、所述復合膜過濾裝置與超濾膜裝置之間、所述超濾膜裝置與清液回收裝置之間均設有提升水泵。

與現有技術相比，本實用新型提供的一種新型半導體行業廢水過濾系統，采用物理性過濾，減少藥劑費用，不投入藥劑對廢水的影響小，通過復合膜過濾裝置后的廢液再經超濾膜裝置進行凈化處理，保證回用水的水質穩定，凈化處理后的廢水可循環利用；而經復合膜過濾裝置過濾下的濃液再經袋式過濾裝置進行過濾后再重復經過復合膜過濾裝置循環過濾，降低濁度，去除水中的顆粒物再進行超濾膜裝置的凈化處理，如此不斷循環過濾，節省資源，具有一定的經濟效益。

附圖說明

圖1：一種新型半導體行業廢水過濾系統示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。