[實用新型]還原爐開工置換氣處理系統

有效

• 申請號: 201821510552.7
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN209287019U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 余濤;冉祎;楊鵬程
• 申請（專利權）人: 四川永祥多晶硅有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68;C01B33/03
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

本實用新型公開一種還原爐開工置換氣處理系統，包括若干還原爐，所述還原爐的排氣口并聯于廢氣輸送管道上，所述廢氣輸送管道的一端并聯有一個或多個排氣管，所述排氣管的一端設置于中和罐中，所述中和罐內設置有噴淋洗滌裝置，用于向中和罐內噴淋洗滌液，所述排氣管的末端位于所述中和罐內洗滌液的液面下方，本實用新型所公開的處理系統能夠有效的對開工置換出的置換氣進行中和處理，可以有效避免置換其中的酸性氣體排放至大氣中，保護環境，具有環保、污染小的優點。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅還原爐廢棄處理領域，具體涉及一種還原爐開工置換氣處理系統。

背景技術

多晶硅作為制造單晶硅的原料，一般采用氫還原三氯氫硅方法制備獲得。氫氣通入還原爐中，將三氯氫硅還原成硅。

為保證還原爐中還原工藝的穩定進行，每次還原爐在重新開工時，需要通入氮氣，將還原爐中的空氣、水泡和殘余的酸性氣體置換出后，將硅芯加熱后再通入氫氣置換掉其中的氮氣，直至硅芯溫度達到工藝要求，再加入TCS后開始反應，反應在硅芯表面進行，硅芯逐漸沉寂變粗，產生的尾氣中包含有氯硅烷、鹽酸和氫氣，需對尾氣進行分離回收，獲得四氯化硅。

由于還原爐開機時，依次通入的氮氣和氫氣中會混雜著水泡和酸性氣體，現多晶硅生產企業僅通過尾氣分離設備對還原反應生成的尾氣進行回收處理，開工置換出的置換氣則無法有效處理，導致置換氣中的酸性氣體排放進入大氣中，造成環境污染。

實用新型內容

有鑒于此，本申請提供一種還原爐開工置換氣處理系統，能夠有效的對開工置換出的置換氣進行中和處理，可以有效避免置換其中的酸性氣體排放至大氣中，保護環境，具有環保、污染小的優點。

為解決以上技術問題，本實用新型提供的技術方案是還原爐開工置換氣處理系統，包括若干還原爐，所述還原爐的排氣口并聯于廢氣輸送管道上，所述廢氣輸送管道的一端并聯有一個或多個排氣管，所述排氣管的一端設置于中和罐中，所述中和罐內設置有噴淋洗滌裝置，用于向中和罐內噴淋洗滌液，所述排氣管的末端位于所述中和罐內洗滌液的液面下方。

優選的，所述排氣管的下端的管徑大于所述排氣管上端的管徑。

優選的，所述排氣管下端密閉，所述排氣管上均勻分布有若干排氣孔，所述排氣孔位于所述中和罐內洗滌液的液面下方。

優選的，所述中和罐的上方設置有置換氣回收管道，所述置換氣回收管道連接有置換氣回收設備，所述置換氣回收管道于所述置換氣回收設備之間還設置有干燥裝置。

優選的，所述噴淋洗滌裝置連接有洗滌液儲罐，所述噴淋洗滌裝置用于向中和罐內噴淋洗滌液。

優選的，所述中和罐內還設置有廢液中和裝置，所述廢液中和裝置用于向所述中和罐內加注堿液或投放堿性中和劑。

優選的，所述廢氣輸送管道上設置有第一閥門，所述第一閥門和所述還原爐的排氣口之間聯通有尾氣回收管道，所述尾氣回收管道上設置有第二閥門，所述尾氣回收管道的另一端連接尾氣回收裝置。

本申請與現有技術相比，其詳細說明如下：

本申請公開一種還原爐開工置換氣處理系統，用于將還原爐開工的置換氣通入中和罐中，通過噴淋洗滌去除置換氣中的酸性氣體，中和罐中存儲有中和后廢棄的洗滌液，所述排氣管的末端位于洗滌液的液面下方，當排氣管內通入的置換氣送入中和罐中時，置換氣先由中和罐內存儲廢棄的洗滌液進行中和，再升至液面上方由噴淋裝置進行噴淋洗滌去除其中剩余的酸性氣體和雜質，本申請的技術方案不僅可以有效對置換氣凈化處理，還能夠利用廢棄的洗滌液，具有處理效果好、節能環保的優點。

中和罐中洗滌后的置換氣為氮氣或氫氣，可以直接外排，也可以經干燥裝置去除水分之后送入置換氣回收設備，置換氣回收設備可以為氣體中轉的容器，也可以為加壓降溫使氣體液化的分離設備，置換氣回收設備可以充分利用凈化后的置換氣，具有節能環保的優點。