[實用新型]一種硅片切割硅泥回收利用系統

有效

• 申請號: 201821510539.1
• 申請日: 2018-09-14
• 公開（公告）號: CN209242691U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 冉祎;魏強;袁中華;陳井建;何鵬
• 申請（專利權）人: 四川永祥多晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037;C01B33/025
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種硅片切割硅泥回收利用系統，包括傳送裝置(3)，用于輸送硅泥，其特征在于，所述傳送裝置(3)的一端設置有板式壓濾機(1)，所述傳送裝置(3)穿過微波干燥設備(4)與熔煉爐(5)對接，所述熔煉爐(5)上還設置有還原物料入口(56)，所述還原物料入口(56)用于通入碳粉。

2.根據權利要求1所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述板式壓濾機(1)的底部設置有分布器(2)，所述分布器(2)位于所述傳送裝置(3)一端的正上方，所述分布器(2)用于將壓濾后的硅泥均勻分布在所述傳送裝置(3)上。

3.根據權利要求1所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述微波干燥設備(4)包括若干并列設置的干燥箱體(41)，所述傳送裝置(3)依次穿過所述干燥箱體(41)。

4.根據權利要求3所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，每一所述干燥箱體(41)內均設置有微波發生器(42)，所述干燥箱體(41)的上方設置有第一負壓排氣裝置(43)，所述第一負壓排氣裝置(43)聯通有第一尾氣吸收裝置(44)。

5.根據權利要求4所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述微波發生器(42)用于發出2300MHz-2500MHz的微波。

6.根據權利要求4所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述第一尾氣吸收裝置(44)為噴淋吸附裝置。

7.根據權利要求1所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述熔煉爐(5)具體為中頻感應熔煉爐，所述熔煉爐(5)上設置有物料入口，所述熔煉爐(5)的物料入口聯通有物料存儲器(51)，所述物料存儲器(51)設置于傳送裝置(3)末端的正下方，所述熔煉爐(5)的底部設置有物料出口(52)。

8.根據權利要求7所述的一種硅片切割硅泥回收利用系統，其特征在于，所述熔煉爐(5)的底部設置有第一保護氣體入口(53)，所述熔煉爐(5)的頂部設置有第二負壓排氣裝置(54)，所述第二負壓排氣裝置(54)聯通有第二尾氣吸收裝置(55)。