[實用新型]防震激光刻蝕機

有效

• 申請號: 201821509020.1
• 申請日: 2018-09-15
• 公開（公告）號: CN209078039U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 陳剛;袁聰;潘洋;羅莉
• 申請（專利權）人: 武漢吉事達科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 江蘇殊成律師事務所 32265
• 代理人: 楊桂平

本實用新型提供一種防震激光刻蝕機，包括機架、激光器、二維振鏡頭、F?θ透鏡組、XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統和計算機系統，XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統和計算機系統都安裝在機架上，激光器的激光頭、二維振鏡頭和F?θ透鏡組安裝在XY軸二維運動平臺上，其特征在于：還包括避震器，避震器安裝在機架下方，多個避震器支承著整個防震激光刻蝕機。本實用新型的防震激光刻蝕機不受外部震動的干擾，工作穩定，產品的良品率高。

技術領域

本實用新型涉及一種激光刻蝕設備，特別是涉及防震激光刻蝕機。

背景技術

激光刻蝕機是用于刻蝕顯示觸摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底銀漿的激光刻蝕設備。其光路多采用二維振鏡頭和F-θ透鏡組組合，二維振鏡頭安裝在機架、升降機構或XY軸二維運動平臺上，F-θ透鏡組安裝在二維振鏡頭下部，被刻蝕的ITO薄膜或銀漿薄膜放置在F-θ透鏡下方的工作臺上，二維振鏡頭的振動電機偏轉使激光光束運動，再經F-θ透鏡組聚焦的焦點軌跡為激光刻蝕的軌跡，也就是所要刻蝕的圖形。

隨著顯示觸摸屏顯示精度和操作精度要求的不斷提高，對激光刻蝕機的蝕刻精度也越來越高，這就要求激光刻蝕機精度高、工作穩定并且不受或少受外部環境的干擾。

在激光刻蝕機的實際使用過程中，高精度的激光刻蝕機往往受外部震動影響比較大，附近的機床啟動、載重汽車的經過、重物的搬運等都會使安裝激光刻蝕機的地基產生震動，而這種震動會使二維振鏡頭的振動電機的運動受到干擾，導致激光蝕刻的軌跡偏離設計的路線，使產品的良品率降低。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種防震激光刻蝕機，此防震激光刻蝕機不受外部震動的干擾，工作穩定，產品的良品率高。

為了達到上述目的，本實用新型的防震激光刻蝕機，包括機架、激光器、二維振鏡頭、F-θ透鏡組、XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統和計算機系統，XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統和計算機系統都安裝在機架上，激光器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在XY軸二維運動平臺上，其特征在于：還包括避震器，避震器安裝在機架下方，多個避震器支承著整個防震激光刻蝕機。

因為本實用新型的防震激光刻蝕機包括機架、激光器、二維振鏡頭、F-θ透鏡組、XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統、計算機系統和避震器，XY軸二維運動平臺、吸附平臺、控制系統和計算機系統都安裝在機架上，激光器的激光頭、二維振鏡頭和F-θ透鏡組安裝在XY軸二維運動平臺上，避震器安裝在機架下方，多個避震器支承著整個防震激光刻蝕機，而避震器有過慮或減小震動的作用，它能排除或減輕附近的機床啟動、載重汽車的經過、重物的搬運產生震動對二維振鏡頭的振動電機的運動受到干擾，使激光蝕刻的軌跡不至于偏離設計的路線，激光蝕刻機工作穩定，產品的良品率高。

所述的防震激光刻蝕機，其特征在于：避震器為氣墊式避震器。氣墊式避震器避震頻率寬，避震效果好；同時，氣墊式避震器成本低，安裝及維護方便。

所述的防震激光刻蝕機，其特征在于：選取的避震器承載負荷是其實際承載負荷的1.5~2.5倍。

本實用新型的防震激光刻蝕機不受外部震動的干擾，工作穩定，產品的良品率高。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的結構示意圖。

具體實施方式

圖1標記的說明：避震器1，機架2，Y軸運動平臺3，吸附平臺4，F-θ透鏡組5，X軸運動平臺6，二維振鏡頭7，激光器的激光頭8。