[實用新型]自動化石墨舟卡點裝點器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821499583.7
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208965035U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 孫紅彬;段波;陶龍忠;楊灼堅;李靜;沙泉;唐福云;盧佩良;李寧;高順;王存亮;高東坡
• 申請（專利權）人: 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于太陽能電池制造領域，尤其涉及一種自動化石墨舟卡點裝點器，包括供儲存新卡點的儲料料斗、設置在所述儲料料斗一側的震動機構、設置于所述儲料料斗下端的卡點滑道、設置在所述卡點滑道下端用于將新卡點移送至壓點工位的換點機構、設置于所述換點機構一側用于將所述壓點工位中的卡點壓至裝點工位的壓點機構，因而使用時儲料料斗中的新卡點可以經其下端的卡點滑道滑落至換點機構，換點機構將其接收的卡點移送至壓點工位，壓點機構將壓點工位中的新卡點壓點至裝點工位，實現自動化裝點，操作簡便，裝點質量高，不會對卡點造成損壞，自動化程度高，裝點過程無需人工手動參與，緩解了操作人員勞動強度，省時省力，工作效率高，應用前景廣闊。

技術領域

本發(fā)明屬于太陽能電池制造領域，尤其涉及一種自動化石墨舟卡點裝點器。

背景技術

隨著太陽能電池的迅猛發(fā)展，越來越多的太陽能電池進入民用領域。在太陽能電池的生產過程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等離子體增強化學氣相沉積法）鍍膜工藝是生產流程中的重要環(huán)節(jié)，起到舉足輕重的作用。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD 真空鍍膜設備的載片器上。目前，載片器通常采用石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空鍍膜設備中，采用PECVD 工藝對硅片進行鍍膜。為了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上設有用于固定硅片的卡點，由于硅片在插取過程中會對卡點有一定的磨損，需要定期對卡點進行更換，以便保證石墨舟的良好狀態(tài)，進而保證硅片的鍍膜質量。

傳統(tǒng)石墨舟卡點的更換方法操作步驟復雜且繁瑣、同時對裝配人員技能要求比較高，如果技能操作不到位會導致更換過程中石墨舟片和石墨舟卡點損壞或裝配不到位，傳統(tǒng)的石墨舟卡點更換操作方法是：石墨舟卡點需要使用到一臺簡易手動壓機，同時壓機兩邊需用泡沫板或橡膠皮墊墊得和手動壓機平臺一樣的高度，操作人員坐在壓機面前將石墨舟片平放置于手動壓機平臺上面，然后依次將石墨舟的24個卡點用手動壓機卸下，石墨舟卡點卸下之后操作人員將要更換新的卡點放置于對應卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下轉動壓機，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大會把石墨舟和卡點壓壞，如果使用的力度太小就壓不到位，壓完一張石墨舟片的卡點后，繼續(xù)下一張石墨舟片卡點的更換，一個石墨舟有27片組成，通常一天需要更換好幾個這樣的石墨舟卡點，人員操作復雜繁瑣，常常因為來不及更換石墨舟卡點，而導致生產進度緩慢，一般情況下因為趕進度而損壞石墨舟片或卡點壓不到位的情況非常多，導致硅片制作過程中損壞或脫落情況，影響產品質量。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是解決上述現有技術的不足，提供一種自動化程度高、操作簡便、裝點質量高、不會對卡點造成損壞、工作效率高的自動化石墨舟卡點裝點器。

本發(fā)明解決上述現有技術的不足所采用的技術方案是：

一種自動化石墨舟卡點裝點器，用于將新卡點裝點至石墨舟卡點更換機的裝點工位，其特征在于，包括：

儲料料斗，供儲存新卡點；

震動機構，設置在所述儲料料斗一側，驅動所述儲料料斗中的新卡點下落；

卡點滑道，設置于所述儲料料斗下端，所述儲料料斗中的新卡點經所述卡點滑道滑落至換點機構；

換點機構，設置在所述卡點滑道下端，用于將新卡點移送至壓點工位；

壓點機構，設置于所述換點機構一側，用于將所述壓點工位中的卡點壓至裝點工位。

優(yōu)選的，本發(fā)明中所述換點機構包括換點滑塊和換點滑塊氣缸，所述換點滑塊氣缸的活塞桿連接所述換點滑塊，所述換點滑塊上設有換點滑塊卡點孔，所述儲料料斗中的新卡點經所述卡點滑道滑落至所述換點滑塊卡點孔。