[實用新型]破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐

有效

• 申請號: 201821499331.4
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208748194U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 孫偉
• 申請（專利權）人: 沈陽合諾德機械設備有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，包括爐本體和進氣裝置，其特征在于：所述的進氣裝置包括進氣管路和調節裝置，所述的進氣管路包括內波紋管和外波紋管，其中內波紋管和外波紋管的靠近爐本體底部的一端在同一水平面并通過法蘭與爐本體相連接，內波紋管遠離爐本體底部的一端設于外波紋管的外部，且內波紋管內部為上氣路，內波紋管和外波紋管之間為下氣路，所述的內波紋管遠離爐本體底部的一端設有內分流帽，其中內分流帽的頂部為封口，底部與內波紋管相連通，且內分流帽沿周向設有數個分流孔，所述的外波紋管遠離爐本體底部的一端均設有外分流帽，其中外分流帽的頂部為封口，底部與外波紋管相連通，且外分流帽沿周向設有數個分流孔，所述的調節裝置包括內管調節裝置和外管調節裝置。

2.根據權利要求1所述的破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，其特征在于：所述的爐本體的頂部設有排氣口，且排氣口的下方設有擋板。

3.根據權利要求1所述的破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，其特征在于：所述的內分流帽的底部設有頂部敞口的內盛接盒，其中內分流帽的直徑不小于內波紋管的直徑，且內盛接盒的內徑大于內分流帽的外徑。

4.根據權利要求1所述的破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，其特征在于：所述的外分流帽的底部設有頂部敞口的外盛接盒，其中外分流帽的直徑不小于外波紋管的直徑，且外盛接盒的內徑大于外分流帽的外徑。

5.根據權利要求1所述的破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，其特征在于：所述的內管調節裝置包括第一安裝座、第一連接桿、第一滑塊和第一電機，第一安裝座設于與內波紋管靠近內分流帽的一端，第一安裝座的兩側通過第一連接桿與第一滑塊相連接，爐本體內側設有與第一滑塊適配的滑槽，第一電機設于爐本體外側，并驅動第一滑塊在滑槽內移動。

6.根據權利要求1所述的破碎機反擊板生產用化學氣相沉積爐，其特征在于：所述的外管調節裝置包括第二安裝座、第二連接桿、第二滑塊和第二電機，第二安裝座設于與外波紋管靠近外分流帽的一端，第二安裝座的兩側通過第二連接桿與第二滑塊相連接，爐本體內側設有與第二滑塊適配的滑槽，第二電機設于爐本體外側，并驅動第二滑塊在滑槽內移動。