[實用新型]自動化石墨舟卡點更換機模具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821498869.3
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208965033U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設計）人: 孫紅彬;段波;唐福云;盧佩良;李寧;高順;高東坡;王銀;王志清;蔡振華;王楓
• 申請（專利權）人: 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于太陽能電池制造領域，尤其涉及一種自動化石墨舟卡點更換機模具，由于本實用新型自動化石墨舟卡點更換機模具包括上模組件、中模組件以及下模組件，使用時將待更換卡點的石墨舟放置在中模組件上的石墨舟載臺中，上模組件利用其上設置的上模卸點柱將舊卡點卸載下來，然后中模組件進行位移至裝點位，同時下模組件也進行上升位移至裝點位，裝點器對石墨舟安裝新的卡點，下模組件在裝點過程中起到支撐定位作用，本實用新型自動化程度高，操作簡便，工作效率高，更換質量高，不會對卡點造成損壞，產品合格率提高，緩解了操作人員的勞動強度，改善了工作空間和工作環(huán)境，應用前景廣闊。

技術領域

本發(fā)明屬于太陽能電池制造領域，尤其涉及一種自動化石墨舟卡點更換機模具。

背景技術

隨著太陽能電池的迅猛發(fā)展，越來越多的太陽能電池進入民用領域。在太陽能電池的生產過程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等離子體增強化學氣相沉積法）鍍膜工藝是生產流程中的重要環(huán)節(jié)，起到舉足輕重的作用。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD 真空鍍膜設備的載片器上。目前，載片器通常采用石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空鍍膜設備中，采用PECVD 工藝對硅片進行鍍膜。為了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上設有用于固定硅片的卡點，由于硅片在插取過程中會對卡點有一定的磨損，需要定期對卡點進行更換，以便保證石墨舟的良好狀態(tài)，進而保證硅片的鍍膜質量。

傳統(tǒng)石墨舟卡點的更換方法操作步驟復雜且繁瑣、同時對裝配人員技能要求比較高，如果技能操作不到位會導致更換過程中石墨舟片和石墨舟卡點損壞或裝配不到位，傳統(tǒng)的石墨舟卡點更換操作方法是：石墨舟卡點需要使用到一臺簡易手動壓機，同時壓機兩邊需用泡沫板或橡膠皮墊墊得和手動壓機平臺一樣的高度，操作人員坐在壓機面前將石墨舟片平放置于手動壓機平臺上面，然后依次將石墨舟的24個卡點用手動壓機卸下，石墨舟卡點卸下之后操作人員將要更換新的卡點放置于對應卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下轉動壓機，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大會把石墨舟和卡點壓壞，如果使用的力度太小就壓不到位，壓完一張石墨舟片的卡點后，繼續(xù)下一張石墨舟片卡點的更換，一個石墨舟有27片組成，通常一天需要更換好幾個這樣的石墨舟卡點，人員操作復雜繁瑣，常常因為來不及更換石墨舟卡點，而導致生產進度緩慢，一般情況下因為趕進度而損壞石墨舟片或卡點壓不到位的情況非常多，導致硅片制作過程中損壞或脫落情況，影響產品質量。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種自動化程度高、操作簡便、更換質量高、不會對卡點造成損壞、工作效率高的自動化石墨舟卡點更換機模具。

本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術的不足所采用的技術方案是：

一種自動化石墨舟卡點更換機模具，供石墨舟卡點更換機使用，在所述石墨舟卡點更換機驅動機構的控制下，實現(xiàn)對石墨舟卡點自動更換，其特征在于，包括：

上模組件，包括上模和上模機架橫梁，所述上模設置在所述上模機架橫梁下端，所述上模下端設有若干用于對舊卡點進行卸載的上模卸點柱，所述上模機架橫梁上端設有上模位移驅動機構，所述上模位移驅動機構連接所述上模，所述上模在所述上模位移驅動機構的驅動下進行上下位移；

中模組件，包括中模和中模位移驅動機構，所述中模位移驅動機構連接所述中模，所述中模在所述中模位移驅動機構的驅動下進行左右位移，所述中模上設有石墨舟載臺，所述中模上與所述石墨舟載臺相對應的位置設有上料感應器；

下模組件，包括下模和下模位移驅動機構，所述下模位移驅動機構連接所述下模，所述下模在所述下模位移驅動機構的驅動下進行上下位移。