[實用新型]腔室冷卻裝置及半導體加工設備

有效

• 申請號: 201821482745.6
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN208767255U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 劉皓
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;C23C16/44
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種腔室冷卻裝置，其特征在于，包括：

冷卻槽，設置在腔室底部，用于盛放冷卻液體；

多根冷卻管，設置在所述冷卻槽中，且在多根所述冷卻管的管壁上均設置有出流口，多根所述冷卻管上的出流口噴出的水流能夠帶動所述冷卻槽中的冷卻液體形成旋轉湍流；

多根進水管，一一對應地與多根所述冷卻管連接；并且，在每根所述進水管上設置有通斷閥和流量調節閥。

2.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，多根所述冷卻管上的出流口分布在以所述冷卻槽的中心為圓心的圓周上，且位于所述冷卻槽的中心區域；并且，每個所述出流口的噴流方向為所述圓周的切線方向。

3.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，每根所述冷卻管的軸線水平設置；每個所述出流口的噴流方向相對于所述冷卻管的軸線傾斜向上設置。

4.根據權利要求3所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，每個所述出流口的噴流方向與所述冷卻管的軸線之間的夾角的取值范圍在40°～60°。

5.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，每根所述冷卻管上的所述出流口為多個，且沿所述冷卻管的軸向間隔分布。

6.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管的遠離所述出流口的一端與所述冷卻槽中心之間的連線和所述冷卻管的軸線之間的夾角為0°或者為銳角。

7.根據權利要求6所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所有所述冷卻管對應的所述夾角相同；或者，至少兩根所述冷卻管對應的所述夾角不同。

8.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，多根所述冷卻管均為彎管或者直管；或者，多根所述冷卻管中有至少一根彎管；其余冷卻管為直管。

9.根據權利要求8所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述彎管包括直管部和彎管部，其中，所述彎管部靠近所述冷卻槽的中心，且所述出流口設置在所述彎管部的管壁上。

10.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，每根所述進水管豎直設置，并且所述進水管的上端與所述冷卻管連接，所述進水管的下端貫穿所述冷卻槽的底部，并與冷卻液體源連接。

11.根據權利要求1-10任意一項所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述腔室冷卻裝置還包括：

隔水板，設置在所述冷卻槽中，且位于所述冷卻管的上方；并且，在所述隔水板的中心區域設置有通孔，用于至少將所述冷卻管的出流口暴露出來。

12.根據權利要求11所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述腔室冷卻裝置還包括：

兩個側板，相對設置在所述冷卻槽中，且位于所述隔水板的兩側；并且，所述側板的頂部高于所述隔水板，且在兩個所述側板的頂部分別設置有擋水條，用于限定所述側板內側冷卻液體的最高水位。

13.根據權利要求12所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，在兩個所述側板的內側分別設置有兩個噴流管，兩個所述噴流管位于所述隔水板的上方，且分別靠近所述隔水板的對角位置處，并且每個所述噴流管朝向對側的所述側板方向噴出冷卻液體，以增加所述冷卻槽中的冷卻液體的旋轉動力。

14.根據權利要求1所述的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述腔室冷卻裝置還包括：

底板，設置在所述冷卻槽中，且在所述底板中設置有沿其厚度貫通的中心通槽；

安裝板，疊置在所述底板上，并且所述冷卻管固定在所述安裝板上，所述進水管自下而上貫通所述安裝板，并與所述冷卻管連接。

15.一種半導體加工設備，包括反應腔室和用于冷卻所述反應腔室的腔室冷卻裝置，其特征在于，所述腔室冷卻裝置采用權利要求1-14任意一項所述的腔室冷卻裝置。