[實用新型]一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒

有效

• 申請號: 201821480827.7
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN209198757U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 李常茂;李贛;陳長安;張廣豐;楊蕊竹;李強;李海波
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院材料研究所
• 主分類號: G02B21/18
• 分類號: G02B21/18;G02B21/06;G02B21/36;G02B27/10
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 王朋飛

1.一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：包括第一多分光鏡立方（1）、反射式物鏡（2）、第二多分光鏡立方（3）、離軸反射鏡模塊(4)、帶照明功能成像模塊；所述反射式物鏡（2）、第一多分光鏡立方（1）、第二多分光鏡立方（3）沿豎直向上光軸依次連接，并形成貫穿三者的光路通道；所述第一多分光鏡立方（1）包含至少兩塊可切換的分光鏡，用于將射入的激光反射至反射式物鏡（2），并將來自反射式物鏡（2）的光線透射至第二多分光鏡立方（3）；所述第一多分光鏡立方（1）內的至少兩塊分光鏡的透射帶之和，可完整覆蓋UV-VIS-NIR全光譜范圍；所述第二多分光鏡立方（3）用于分離光譜信號光路與圖像信號光路；所述離軸反射鏡模塊(4)與第二多分光鏡立方（3）連接并位于其光譜信號光路上，用于聚焦譜信號并耦合入外部光纖；所述帶照明功能成像模塊與第二多分光鏡立方（3）連接并位于其圖像信號光路上，用于照明并觀察樣品表面。

2.根據權利要求1所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述第一多分光鏡立方（1）中，第一塊分光鏡為激光二向色鏡，第二塊分光鏡為激光分束鏡；所述激光二向色鏡和激光分束鏡具有等光學厚度，有效反射激光的鍍膜均位于鏡片面向激光入射方向的一面。

3.根據權利要求1或2所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述第二多分光鏡立方（3)包括至少兩塊可切換的光學鏡片，其中第一塊光學鏡片為可見光分束鏡，其面向第一多分光鏡立方（1）的一面鍍有可見光分光膜，另一面鍍有可見光增透膜；第二塊光學鏡片為全反鏡或者全透窗口鏡；所述可見光分束鏡與全透窗口鏡的光學厚度相等。

4.根據權利要求3所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述第一多分光鏡立方（1）和第二多分光鏡立方（3)均為立方體結構，其上、下、左、右側面的中心均開有通光孔，沿其前、后側面對角線還設有光學導軌板；所述光學導軌板設有光學安裝面；所述光學安裝面與立方體結構的水平、豎直軸線均具有45度夾角；所述光學安裝面包括至少兩個光學安裝位，用于一對一安裝至少兩個鏡片；所述光學導軌板還用于使光學安裝面中任一個光學安裝位切換至立方體結構的水平、豎直軸線交點上。

5.根據權利要求4所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述第二多分光鏡立方（3)的光學導軌板與第一多分光鏡立方（1）的光學導軌板具有90度夾角；所述第二多分光鏡立方（3)內安裝的可見光分束鏡與第一多分光鏡立方（1）內安裝的激光二向色鏡、激光分束鏡具有相等的光學厚度。

6.根據權利要求4或5所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述離軸反射鏡模塊(4)，用于將光譜信號聚焦至垂直于入射方向的焦點處，其入射光方向、出射光方向的兩側面板設有通光孔；所述出射光方向通光孔用于連接并使外部光纖位于所述焦點處，入射光方向通光孔用于連通第二多分光鏡立方（3)；所述帶照明功能成像模塊包括固定式分光鏡立方（5），照明裝置和成像裝置；所述固定式分光鏡立方（5）為立方體結構，其上、下、左、右側面中心均開有通光孔，其前、后側面之間固定安裝有可見光分束鏡；所述可見光分束鏡與固定式分光鏡立方（5）的上、下、左、右側面均具有45度夾角，在可見光區域具有部分反射部分透射特性；所述可見光分束鏡朝向第二多分光鏡立方（3)的一面鍍可見光分束膜，另一面鍍可見光增透膜；固定式分光鏡立方（5）的透射光路、反射光路兩者之一上裝有照明裝置，另一光路上裝有成像裝置；所述固定式分光鏡立方（5）的其中一個通光孔用于與第二多分光鏡立方（3)的連通；所述照明裝置用于提供照明光源（8）；所述成像裝置用于觀察樣品表面。

7.根據權利要求6所述的一種多分光鏡式高靈敏度同軸光學鏡筒，其特征在于：所述固定式分光鏡立方（5）的可見光分束鏡與第一多分光鏡立方（1）內安裝的激光二向色鏡、激光分束鏡具有相等的光學厚度；所述固定式分光鏡立方（5）的可見光分束鏡與第一多分光鏡立方（1）的光學導軌板具有90度夾角。