[實用新型]一種新型微電子元件剝料機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821479614.2 | 申請日: | 2018-09-11 |
| 公開(公告)號: | CN208706595U | 公開(公告)日: | 2019-04-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 紀春明;田恒緒 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州希邁克精密機械科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 超聲波振動頭 離子風機 送料架 底架 滑臺 模組 三軸 新型微電子 剝料機 立柱 支架 本實用新型 可拆卸連接 產(chǎn)品損壞 彈簧連接 翻轉(zhuǎn)移動 固定設置 緩沖結(jié)構(gòu) 氣缸壓頭 上下滑動 生產(chǎn)效率 豎直設置 靜電 底端 上料 收料 下料 漏斗 | ||
本實用新型公開了一種新型微電子元件剝料機,包括底架;所述底架上固定設置有XYZ三軸模組,底架位于XYZ三軸模組的下方設有送料架;所述XYZ三軸模組的Z軸移動臺上固定連接有兩個立柱,且Z軸移動臺上設有可上下滑動的滑臺,立柱分別通過彈簧連接滑臺底部兩端;所述滑臺可拆卸連接有豎直設置的超聲波振動頭;所述送料架位于超聲波振動頭的下方處的頂端設有氣缸壓頭,底端連接有收料漏斗;所述送料架正上方設有固定在支架上的離子風機,離子風機可在支架上翻轉(zhuǎn)移動。本實用采用超聲波振動頭進行剝料,且設有緩沖結(jié)構(gòu),有效避免剝料損壞而導致產(chǎn)品損壞,并且產(chǎn)品上料和廢料下料同時進行,且設有離子風機減少靜電對剝料影響,提高了生產(chǎn)效率。
技術領域
本實用新型涉及剝料機,特指一種新型微電子元件剝料機。
背景技術
現(xiàn)有的微電子元器件生產(chǎn)首先需要進行封裝,封裝后的微電子元器件必須與膜脫離后,才能夠在后續(xù)生產(chǎn)中使用,剝料效果的好壞直接影響了微電子元器件的品質(zhì)。
目前主要采用的機械沖壓式剝料方式或者手動剝料方式,該方式存在著剝料不均勻、元器件周邊有毛刺等缺點,嚴重影響了元器件的后期使用,同時由于元器件的體積較小,容易因靜電吸附不容易剝落,并且剝落下來的工件收集困難,該方式還存在著人工操作勞動強度大,效率低等問題,因此需要一種高效率的新型微電子元件剝料機。
實用新型內(nèi)容
本實用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術的不足而提供一種高效率的新型微電子元件剝料機。
為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種新型微電子元件剝料機,包括底架;所述底架上固定設置有XYZ三軸模組,底架位于XYZ三軸模組的下方橫向設有兩個平行且間隔設置的送料架;所述XYZ三軸模組的Z軸移動臺上固定連接有兩個立柱,Z軸移動臺上位于兩個立柱中間設有可上下滑動的滑臺,立柱分別通過彈簧連接滑臺底部兩端;所述滑臺可拆卸連接有豎直設置的超聲波振動頭;所述送料架位于超聲波振動頭的下方處的頂端設有氣缸壓頭,底端連接有收料漏斗;所述送料架正上方設有固定在支架上的離子風機,離子風機可在支架上翻轉(zhuǎn)移動。
優(yōu)選的,所述收料漏斗位于載料框架下料端設有平滑滑下的圓弧板。
優(yōu)選的,所述超聲波振動頭外側(cè)設有防護罩。
由于上述技術方案的運用,本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點:
本實用新型所述的一種新型微電子元件剝料機,采用超聲波振動頭進行剝料,且設有緩沖結(jié)構(gòu),有效避免剝料損壞而導致產(chǎn)品損壞,并且產(chǎn)品上料和廢料下料同時進行,提高了工作效率,且離子風機減少靜電對剝料影響。
附圖說明
下面結(jié)合附圖對本實用新型技術方案作進一步說明:
附圖1為本實用新型一種新型微電子元件剝料機的總體結(jié)構(gòu)圖;
附圖2為附圖1的A部放大圖;
其中:1、底架;2、XYZ三軸模組;3、Z軸移動臺;31、立柱;32、彈簧;4、滑臺;5、超聲波振動頭;6、送料架;61、氣缸壓頭;7、收料漏斗;71、圓弧板;8、離子風機。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





