[實用新型]一種采樣腔及采樣器

有效

• 申請號: 201821478523.7
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN208921511U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 劉曉麗
• 申請（專利權）人: 廣州賽寶計量檢測中心服務有限公司
• 主分類號: G01N1/24
• 分類號: G01N1/24
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 付建軍

本實用新型公開了一種采樣腔及具有上述采樣腔的采樣器，所述采樣腔包括采樣腔本體，所述采樣腔本體內具有采樣空腔，所述采樣腔本體上設有與所述采樣空腔連通的采樣孔，所述采樣孔的上端面用于放置校準片，所述采樣孔上端面的兩側分別設有第一滑片和第二滑片，所述第一滑片的前端和所述第二滑片的前端用于壓緊所述校準片的兩側。該采樣腔可以存放具有微量氣氛、組分濃度極低的樣品氣體，且具有微小密封空腔，可以提供量值已知的參考樣品對內部水汽質譜分析儀進行校準，以保障水汽分析的量值準確可靠。

技術領域

本實用新型涉及氣體采樣設備技術領域，尤其涉及一種采樣腔以及包括上述采樣腔的采樣器。

背景技術

電子信息技術與微納米器件的持續發展及不斷深化不僅帶來了新的機遇與挑戰，同時對電子元器件的長期可靠性提出了更高的要求，尤其是在航空航天、衛星通訊以及其他高可靠應用領域，不僅要求電子元器件具有高品質的質量，還要求具有長的貯存壽命和使用壽命。

在構成航空航天等關鍵電子系統或設備的元器件中，因可靠性要求高，返修困難，使得密封封裝(具有內部小腔體的封裝形式)的電子元器件因在長期可靠性方面的明顯優勢而得以廣泛應用，而密封封裝元器件的可靠性，尤其是長期可靠性，在很大程度上是由其小腔體內部水汽含量決定的。密封封裝元器件內部水汽含量過高，會使芯片及電連接系統發生各種物理化學反應，從而造成器件參數不穩定甚至失效，為了保證密封封裝元器件的可靠性，需對密封封裝元器件內部水汽含量進行有效的控制。

內部水汽質譜分析儀，是一種用來分析檢測電子元器件密封腔體內的水汽含量的高分辨率分析儀器，是目前對密封封裝類電子元器件內部水汽檢測唯一可用的高分辨率分析儀器。該類儀器是一種相對分析儀器，需要量值已知的參考樣品對儀器進行校準，儀器測量待測樣品中某組分濃度時，需將測的某組分的特征信號與參考樣品進行比較，按一定的函數關系算出待測樣品中某組分的濃度。由此可見，量值已知的參考樣品對該類分析儀器是非常關鍵的。

但是，測試電子元器件內部氣氛的內部水汽質譜分析儀有其特殊性，首先，其測試對象是密封的微小腔體，可供分析的氣體量非常少(可達10μL)，加上氣體中測試組分的濃度極低(有些甚至達到ppb級)，材料的吸附、脫附影響大，量值不易保持穩定；其次，該類儀器采用特殊的采樣系統，采樣針可以直接對元器件的外殼穿刺；再次，儀器內部真空度非常高，樣品采樣面必須平整，與采樣平臺能夠緊密配合，保證不漏氣。

已有的采樣器大都是對一定流量的流體進行采樣，采樣量可從(1mL/min-100L/min)，氣體可儲存在采樣袋內，并沒有專門針對微量氣氛、組分濃度極低、需形成一個微小密封腔體樣品的采樣器。目前由于沒有滿足上述三個特殊要求的采樣器，無法提供量值已知的參考樣品對小腔體內部水汽質譜分析儀進行校準，無法保障水汽分析的量值準確可靠。

因此，提供一種可以存放具有微量氣氛、組分濃度極低樣品氣體、且具有微小密封空腔的采樣腔，成為本領域技術人員亟待解決的技術難題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種可以存放具有微量氣氛、組分濃度極低樣品氣體、且具有微小密封空腔的采樣腔以及包括該采樣腔的采樣器，可以提供量值已知的參考樣品對內部水汽質譜分析儀進行校準，以保障水汽分析的量值準確可靠。

為了實現上述目的，本實用新型的一個方面提供一種采樣腔，包括采樣腔本體，所述采樣腔本體內具有采樣空腔，所述采樣腔本體上設有與所述采樣空腔連通的采樣孔，所述采樣孔的上端面用于放置校準片，所述采樣孔上端面的兩側分別設有第一滑片和第二滑片，所述第一滑片的前端和所述第二滑片的前端用于壓緊所述校準片的兩側。

優選地，所述采樣腔本體上設有滑片導向槽，所述滑片導向槽的側壁與底邊的夾角為銳角，所述第一滑片和第二滑片均設于所述滑片導向槽內。

優選地，所述第一滑片和所述第二滑片的兩側邊設有呈斜坡狀的滑片導角。