[實用新型]低濕水汽發生裝置

有效

• 申請號: 201821478521.8
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN208911840U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 劉曉麗
• 申請（專利權）人: 廣州賽寶計量檢測中心服務有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F5/04;B01F5/06;B01F13/10;B01F15/04;G01N33/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 付建軍

本實用新型公開了一種低濕水汽發生裝置，包括：壓縮氣瓶、減壓閥、第1流量調節閥、第1三通閥、水汽飽和器和混合器，所述壓縮氣瓶用于存儲并向輸氣管路提供壓縮氣體；所述減壓閥用于對輸氣管路中的氣體進行第一次降壓；所述第1流量調節閥用于對第一次降壓后的氣體進行流量控制，從而進行第二次降壓；所述第1三通閥用于將兩級降壓后的氣體分流到干氣管路和濕氣管路，所述干氣管路與所述混合器相連通，所述濕氣管路通過所述水汽飽和器與所述混合器相連通。本實用新型可以發生寬范圍的水汽，并且所發生的水汽具有較好的穩定性，結構簡單、便于攜帶、操作方便、成本小。

技術領域

本實用新型屬于計量校準領域，涉及密封元器件水汽分析儀器的校準技術，尤其涉及一種低濕水汽發生裝置。

背景技術

密封元器件內部水汽含量超標是導致密封器件失效的主要原因之一，在元器件可靠性研究中，為了消除外部環境中濕氣因素的影響，提高元器件的質量可靠性，元器件器的外殼一般都作了密封防潮處理，并通過填充干燥空氣或高純氮氣以保證密封腔體內部處于低濕度的狀態，同時，對密封元器件內部低濕水汽的含量進行嚴格測量控制。小腔體內部水汽質譜分析儀，是一種用來分析檢測電子元器件密封腔體內的水汽含量的高分辨率分析儀器，廣泛應用于密封封裝類電子元器件內部水汽檢測。密封元器件水汽分析儀器需要有標準低濕水汽進行標定，而低濕水汽需要水汽發生裝置產生，因此對能夠產生低濕水汽的發生裝置有大量需求。

現有的水汽發生方式主要有三種，第一種是利用恒溫恒濕箱產生恒濕氣流，第二種是基于混合法產生恒濕水汽的分流法，第三種是基于熱力學P、V、T關系配制水汽的雙壓、雙溫法。

恒溫恒濕箱產生恒濕氣流法可以直接調節工作空間(測試腔)內的氣體的溫度和濕度，在工作空間內形成某一特定環境空間，適合進行產品環境試驗，發生濕度的范圍(5～98)％RH，裝置穩定性好，應用廣泛。但是，恒溫恒濕箱產生恒濕氣流法無法發生低濕水汽，特別是水汽含量為ppm級(1×10^-6)的低濕水汽。

分流法通過調節干濕氣流量(混合比)得到想要的水汽濃度的氣體，濕度發生范圍寬，但發生的氣氛濕度穩定性與氣體流量控制閥有很大關系，一般不太穩定。雙壓法、雙溫法從基本物理原理出發，具有可靠的理論基礎，溫度、壓力可以精確測量控制，可以發生水汽濃度為(40～23000)×10^-6的恒定氣流，壓力、溫度調節方便，水汽發生器響應快，可以實時發生水汽，但是，在發生低濕氣氛時，雙壓法氣流前后需要較大的壓差，需配置壓縮機、恒溫槽，如氣流壓差不大，則發生的水汽濃度范圍大大縮小，雙溫法氣流前后則需要較大的溫差，需配置加熱、制冷及控溫設備，如氣流溫差不大，則發生的水汽濃度范圍(濕度范圍)大大縮小，如配置這些設備，可以滿足水汽濃度范圍，但是這些設備體積龐大、笨重，使得整體的水汽發生裝置不便于攜帶，不能滿足現場計量校準需要。

實用新型內容

本實用新型針對現有濕度發生裝置的不足之處，目的在于提供一種結構簡單、便于攜帶、操作方便、成本小的低濕水汽發生裝置，能夠發生范圍寬、穩定性好的低濕水汽。

為了實現上述目的，本實用新型的一個方面提供一種低濕水汽發生裝置，包括：壓縮氣瓶、減壓閥、第1流量調節閥、第1三通閥、水汽飽和器和混合器，所述壓縮氣瓶用于存儲并向輸氣管路提供壓縮氣體；所述減壓閥用于對輸氣管路中的氣體進行第一次降壓；所述第1流量調節閥用于對第一次降壓后的氣體進行流量控制，從而進行第二次降壓；所述第1三通閥用于將兩級降壓后的氣體分流到干氣管路和濕氣管路，所述干氣管路與所述混合器相連通，所述濕氣管路通過所述水汽飽和器與所述混合器相連通。

優選地，所述低濕水汽發生裝置還包括第2三通閥，流經所述水汽飽和器的所述濕氣管路中的氣體與不流經所述水汽飽和器的所述干氣管路中的氣體通過所述第2三通閥在所述混合器中混合。

優選地，所述低濕水汽發生裝置還包括計量閥，所述計量閥設置于所述水汽飽和器與所述混合器之間，用于對流經所述水汽飽和器的氣體進行膨脹減壓。