[實(shí)用新型]一種非平滑表面玻璃的激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821476367.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213998197U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣仕彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州銀湖激光科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種非平滑表面玻璃的激光加工裝置，由綠光脈沖串激光器、聚焦透鏡和焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)組成，其特征在于：所述綠光脈沖串激光器主要由輸出波長(zhǎng)在1020納米～1090納米之間的脈沖串種子激光器、多級(jí)或單級(jí)光纖放大器、準(zhǔn)直器和倍頻器件構(gòu)成，脈沖串種子激光器的輸出光經(jīng)光纖放大器放大后，由準(zhǔn)直器準(zhǔn)直后經(jīng)倍頻器件倍頻輸出綠光脈沖串；所述綠光經(jīng)聚焦透鏡聚焦在非平滑表面玻璃材料的待加工位置；在待加工材料的上方設(shè)有液體添加設(shè)備。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非平滑表面玻璃的激光加工裝置，其特征在于：所述焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括掃描振鏡，所述掃描振鏡在光路中位于綠光脈沖串激光器的輸出和聚焦透鏡之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非平滑表面玻璃的激光加工裝置，其特征在于：所述掃描振鏡是二維振鏡、2.5維振鏡、或者三維振鏡中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非平滑表面玻璃的激光加工裝置，其特征在于：所述綠光脈沖串激光器和所述聚焦透鏡構(gòu)成光學(xué)頭，所述焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括光學(xué)頭位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，以待加工的透明材料所在平面為X-Y平面，Z軸垂直于X-Y平面，該光學(xué)頭位置透整機(jī)構(gòu)使光學(xué)頭具有X軸、Y軸、Z軸平移的自由度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非平滑表面玻璃的激光加工裝置，其特征在于：所述焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)包括放置待加工的透明材料的平臺(tái)，以待加工的透明材料所在平面為X-Y平面，Z軸垂直于X-Y平面，所述焦點(diǎn)調(diào)整機(jī)構(gòu)使所述平臺(tái)具有X軸、Y軸平移的自由度，所述聚焦透鏡和所述平臺(tái)之間具有沿Z軸相對(duì)運(yùn)動(dòng)的自由度。