[實(shí)用新型]研磨液供給裝置及化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821474304.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-09-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN208801223U | 公開（公告）日： | 2019-04-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郭松輝;陸從喜;沈新林;吳龍江;林宗賢 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B57/02 | 分類號(hào)： | B24B57/02;B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 連通 研磨 研磨液供給裝置 流量控制器 過(guò)濾裝置 化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng) 研磨液供應(yīng)系統(tǒng) 本實(shí)用新型 化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái) 恒溫裝置 研磨量 研磨液 節(jié)約 | ||
1.一種研磨液供給裝置，其特征在于，包含：
研磨液供應(yīng)系統(tǒng)；
過(guò)濾裝置；
第一管路，一端與所述研磨液供應(yīng)系統(tǒng)連通，另一端與所述過(guò)濾裝置連通；流量控制器；
第二管路，一端與所述過(guò)濾裝置連通，另一端與所述流量控制器連通；
第三管路，一端與所述流量控制器連通，另一端與一化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)連通；至少一個(gè)恒溫裝置，至少設(shè)置于所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路中的一條管路上。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨液供給裝置，其特征在于，還包含：
用于采集所述第三管路內(nèi)的研磨液溫度的溫度傳感器，設(shè)置于所述第三管路上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的研磨液供給裝置，其特征在于，還包含：
閥門，設(shè)置于所述第一管路上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的研磨液供給裝置，其特征在于，
所述第一至第三管路中的僅一條管路上設(shè)置所述恒溫裝置。
5.如權(quán)利要求1或2所述的研磨液供給裝置，其特征在于，所述第一至第三管路中的任意兩條管路上分別設(shè)置所述恒溫裝置。
6.如權(quán)利要求1或2所述的研磨液供給裝置，其特征在于，所述第一至第三管路上分別設(shè)有至少一個(gè)所述恒溫裝置。
7.一種化學(xué)機(jī)械研磨系統(tǒng)，其特征在于，包括：
化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)；以及
如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的研磨液供給裝置。
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