[實用新型]一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置

有效

• 申請號: 201821468653.2
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN209174423U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 熊誠雷;邵奇
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 逯雪峰

1.一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：包括刷體和設置于刷體上的進水機構、驅動機構，所述刷體包括第一刷體和第二刷體，所述第二刷體為圓筒狀的海綿，所述第一刷體設置于第二刷體的內部，所述第一刷體為兩端開口的圓筒殼體，第一刷體的外壁還設有多個凹槽，所述凹槽與第一刷體的中心軸線相平行，所述凹槽的槽底還布設多個通孔，所述通孔與第一刷體的內腔相連通，第一刷體的兩端還分別設有臺階孔，所述第一刷體分別通過兩端的臺階孔連接進水機構和驅動機構；

所述進水機構包括接頭和進水柱，所述接頭包括擋板、連接柱和出水柱，所述連接柱設置于第一刷體一端的臺階孔內，連接柱的兩端分別連接擋板和出水柱，所述出水柱設置于所述第一刷體的內部，所述擋板設置于第一刷體的外部，所述擋板、連接柱和出水柱上還分別設有互為連通的進水通道，所述進水柱設置于擋板的側壁上；所述進水柱為圓筒形，進水柱的內腔還與擋板上的進水通道相連通；

所述驅動機構包括電機和連接于電機的聯軸器，所述聯軸器設置于第一刷體另一端的臺階孔內，第一刷體和聯軸器相連接的一端端面上預留有銷孔，聯軸器上的銷還通過銷孔連接于所述第一刷體；所述電機設置于第一刷體的外部，所述電機還沿第一刷體中軸線的方向連接于所述聯軸器。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述刷體的兩端還分別設有第一擋片和第二擋片，所述第一擋片和第二擋片均沿中心軸方向開設有安裝孔，第一擋片和第二擋片還分別通過安裝孔套設于擋板和聯軸器的外壁處。

3.根據權利要求2所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述第一擋片和所述第二擋片均為圓形板，擋片的外徑大于第二刷體的直徑。

4.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述海綿為PVA海綿。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述凹槽設置為六個，相鄰的兩個凹槽之間的夾角均為60°。

6.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述連接柱和出水柱均為圓柱型，所述擋板為矩形板，擋板的兩端還分別設有弧面，所述擋板上還設有定位通孔，第一擋片和第二擋片還通過定位通孔固定于擦片清洗機工作臺的立柱上。

7.根據權利要求6所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述擋板、連接柱和出水柱的中心軸線還相重合。

8.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述擋板還與第一刷體的端面相接觸，擋板的端面還大于臺階孔的開口。

9.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：第一刷體兩端的臺階孔內還分別設有滾動軸承，接頭的出水柱和聯軸器的軸還分別穿過滾動軸承的孔設置于第一刷體的腔內。

10.根據權利要求1所述的一種用于硅拋光片擦片清洗機的擦片刷裝置，其特征在于：所述擋板、連接柱和出水柱上還分別設有互為連通的第一進水通道、第二進水通道和第三進水通道，所述第一進水通道與擋板的中軸線相垂直，第一進水通道的兩個通道口分別設置于擋板側壁和擋板中心點處；所述第二進水通道和所述第三進水通道還分別設置于連接柱和出水柱的中軸線上，且第二進水通道一端的通道口與第三進水通道一端的通道口相連通，第二進水通道另一端的通道口與第一進水通道的通道口在擋板中心點處相連通，所述第三進水通道還與第一刷體的內腔相連通，超純水還通過所述進水柱、第一進水通道、第二進水通道和第三進水通道進入第一刷體的內腔。