[實(shí)用新型]廢氣導(dǎo)入裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821468485.7
• 申請(qǐng)日: 2018-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209279169U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮五裕
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東服企業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F23G7/06
• 分類(lèi)號(hào): F23G7/06
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

本實(shí)用新型提供一種廢氣導(dǎo)入裝置，包括一加熱器一端植入一反應(yīng)腔室內(nèi)且坐落于該反應(yīng)腔室的中心線上，多支廢氣導(dǎo)入管一端分別與該反應(yīng)腔室相連通，等數(shù)于所述廢氣導(dǎo)入管的彎折管具有一第一管部及一第二管部，各該第一管部樞設(shè)于所述廢氣導(dǎo)入管內(nèi)，而使各該第二管部穿探至該反應(yīng)腔室，其中各該第二管部形成一排氣口，各該第二管部的管心線排除與該中心線相交，且各該第二管部的管心線與一水平面之間具有一傾角，使得所述多個(gè)排氣口能導(dǎo)入廢氣形成一環(huán)狀的廢氣回旋路徑；如此，改善廢氣因接觸火焰或熱空氣的時(shí)間有限而導(dǎo)致燒結(jié)效果不佳的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中廢氣導(dǎo)入反應(yīng)腔室內(nèi)的供應(yīng)技術(shù)，特別是有關(guān)于一種廢氣導(dǎo)入裝置。

背景技術(shù)

周知，半導(dǎo)體制程所生成的廢氣包含有SiH₄、H₂SiCl₂(DCS)、WF₆、BF₃、NF₃、SF₆、CF₄、C₂F₆C₃F₈等，其中NF₃、SF₆、CF₄、C₂F₆及C₃F₈等歸屬有害的氟化物(Per FluorinatedCompounds,PFC)，倘若排放至大氣中，會(huì)造成環(huán)境污染，甚至于溫室效應(yīng)，對(duì)地球暖化造成嚴(yán)重的影響，因此必須將所述的這些廢氣處理成無(wú)害的氣體。

坊間所泛用的半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備，就是用于將上述廢氣處理成無(wú)害的氣體。一般而言，已知的半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備都設(shè)有廢氣的反應(yīng)腔室，半導(dǎo)體制程所生成的廢氣導(dǎo)入反應(yīng)腔室內(nèi)，并且在反應(yīng)腔室內(nèi)以火焰或熱空氣所提供的高溫，對(duì)所述廢氣進(jìn)行燒結(jié)(即燒結(jié)反應(yīng))；特別的，通過(guò)高溫的燒結(jié)反應(yīng)，可將例如是有害的NF₃、SF₆、CF₄、C₂F₆及C₃F₈等氟化物氣體分解成無(wú)害的氟離子(F-)，進(jìn)而達(dá)到凈化廢氣的目的。

且知，半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備包含有廢氣導(dǎo)入管及加熱器，其中，廢氣導(dǎo)入管的一端植入反應(yīng)腔室而形成有一出口，廢氣導(dǎo)入管經(jīng)由其出口而與反應(yīng)腔室相連通，廢氣導(dǎo)入管用來(lái)導(dǎo)引廢氣進(jìn)入反應(yīng)腔室內(nèi)。加熱器的一端植入反應(yīng)腔室內(nèi)而坐落于反應(yīng)腔室的中央處，加熱器是用來(lái)在反應(yīng)腔室的中央處產(chǎn)生火焰或熱空氣。進(jìn)一步的說(shuō)，廢氣導(dǎo)入管的出口是朝向反應(yīng)腔室的中央處，使廢氣流向加熱器所產(chǎn)生的火焰或熱空氣，憑借火焰或熱空氣的高溫來(lái)燒結(jié)廢氣。

然而，當(dāng)廢氣經(jīng)由廢氣導(dǎo)入管的出口導(dǎo)入反應(yīng)腔室瞬間，由于廢氣導(dǎo)入管的出口是朝向反應(yīng)腔室的中央處，使得廢氣是沿直線路徑移動(dòng)來(lái)接觸加熱器在反應(yīng)腔室的中央處所產(chǎn)生的火焰或熱空氣，導(dǎo)致廢氣接觸火焰或熱空氣的時(shí)間有限，乃至于廢氣的燒結(jié)效果不佳，因此，如何增加廢氣接觸火焰或熱空氣的時(shí)間，便成為一項(xiàng)有待克服的技術(shù)課題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于改善半導(dǎo)體廢氣在反應(yīng)腔室內(nèi)接觸火焰或熱空氣的時(shí)間有限，導(dǎo)致廢氣的燒結(jié)效果不佳的問(wèn)題。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種廢氣導(dǎo)入裝置，其特征是包括：

一反應(yīng)腔室，具有一中心線；

一加熱器，其一端植入該反應(yīng)腔室內(nèi)且坐落于該中心線上，并且沿該中心線提供一熱源進(jìn)入該反應(yīng)腔室；

多支廢氣導(dǎo)入管，其一端分別與該反應(yīng)腔室相連通；及

等數(shù)于所述廢氣導(dǎo)入管的彎折管，分別具有相互連通形成的一第一管部及一第二管部，各該第一管部沿著一第一管心線延伸形成，各該第二管部沿著一第二管心線延伸形成，且各該第一管部樞設(shè)于所述廢氣導(dǎo)入管內(nèi)，而使各該第二管部穿探至該反應(yīng)腔室；