[實用新型]相位移光罩

有效

• 申請號: 201821464430.9
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN208588895U
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F1/72
• 分類號: G03F1/72;G03F1/26
• 代理公司: 北京市鑄成律師事務所 11313
• 代理人: 張臻賢;李夠生

1.一種相位移光罩，其特征在于，包括：

透光基板；

相位移墊層圖案和相位移線路圖案，設置在所述透光基板上，所述相位移墊層圖案的長寬或直徑大于等于200nm，所述相位移線路圖案的線寬小于等于40nm，所述相位移墊層圖案具有缺陷區域，所述缺陷區域為所述相位移光罩曝光時導致晶圓的表面出現破口的區域，所述缺陷區域相對于所述相位移墊層圖案更分離于所述相位移線路圖案；以及

不透光層，設置在所述相位移墊層圖案中，所述不透光層的第二邊界位于所述缺陷區域的第一邊界和所述相位移墊層圖案的鄰近邊界之間，用于覆蓋所述缺陷區域。

2.如權利要求1所述的相位移光罩，其特征在于，所述相位移墊層圖案包括光穿透率介于20～30％且大于所述不透光層光穿透率的圖案層。

3.如權利要求1所述的相位移光罩，其特征在于，所述相位移墊層圖案和所述相位移線路圖案為開設在所述透光基板中的凹槽結構，或所述相位移墊層圖案和所述相位移線路圖案為一體設置在所述透光基板上的凸起結構。

4.如權利要求1所述的相位移光罩，其特征在于，所述不透光層的材料包含鉻。

5.如權利要求1所述的相位移光罩，其特征在于，所述不透光層包含光穿透率小于等于6％的氮氧化硅鉬層。

6.如權利要求1-5任一項所述的相位移光罩，其特征在于，所述不透光層為矩形或與所述缺陷區域外輪廓相同的形狀，所述缺陷區域的第一邊界至所述不透光層的第二邊界的距離介于5～10nm。