[實用新型]抓取裝置及具有該抓取裝置的電子芯片測試設備

有效

• 申請號: 201821464336.3
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN209117813U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 陸天辰
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;B25J15/06
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

1.一種抓取裝置，用以抓取電子芯片，其特征在于，所述抓取裝置包括：

把桿，具有內腔，所述內腔在所述把桿下端形成下端口；

吸盤，連接于所述把桿的下端口，所述吸盤底面開設有定位槽，所述定位槽與所述電子芯片的形狀相匹配，所述定位槽的槽底開設有豎直貫通所述吸盤的吸風口，所述吸風口與所述內腔連通，所述吸盤采用絕緣材料制成；以及

抽氣機構，設于所述內腔，所述抽氣機構被配置為將所述吸盤下方的空氣由所述吸風口抽至所述內腔而使所述吸盤下方形成負壓，以使所述電子芯片通過所述負壓吸附于所述定位槽。

2.根據權利要求1所述的抓取裝置，其特征在于，所述定位槽與所述電子芯片在水平方向上的形狀相同。

3.根據權利要求1所述的抓取裝置，其特征在于，所述定位槽的槽深為所述電子芯片的厚度的0.5倍～1倍。

4.根據權利要求1所述的抓取裝置，其特征在于，所述抽氣機構包括：

風扇，設于所述內腔；

電機，設于所述內腔且傳動連接于所述風扇，所述電機被配置為驅動所述風扇轉動，并控制所述風扇的轉速和轉動方向；以及

電池，設于所述內腔且電連接于所述電機，所述電池被配置為對所述電機供電。

5.根據權利要求1所述的抓取裝置，其特征在于，所述電子芯片的上表面設有第一標識，所述吸盤的上表面設有第二標識，所述第二標識相對于所述吸盤上表面的相對位置與所述第一標識相對于所述電子芯片上表面的相對位置相匹配。

6.根據權利要求1所述的抓取裝置，其特征在于，所述吸盤頂部設有套管，所述套管與所述吸風口連通，所述套管可升降地套設于所述把桿的下端口中，以使所述吸盤可升降地連接于所述把桿的下端口。

7.一種電子芯片測試設備，包括測試板以及測試裝置，所述測試板用于承載電子芯片，所述測試裝置用于對所述電子芯片進行測試，其特征在于，所述電子芯片測試設備還包括權利要求1～6任一項所述的抓取裝置。

8.根據權利要求7所述的電子芯片測試設備，其特征在于，所述測試板設有容納所述電子芯片的芯片槽，所述芯片槽的槽底設有第三標識；其中，所述電子芯片的上表面設有第一標識，所述吸盤的上表面設有第二標識，所述第二標識相對于所述吸盤上表面的相對位置、所述第一標識相對于所述電子芯片上表面的相對位置相匹配及所述第三標識相對于所述芯片槽的相對位置均相匹配。

9.根據權利要求7所述的電子芯片測試設備，其特征在于，所述測試板上設有定位槽壁，所述定位槽壁與所述測試板共同界定一定位外槽；其中，所述抓取裝置的所述吸盤底部的形狀與所述定位外槽的形狀相同。

10.根據權利要求7所述的電子芯片測試設備，其特征在于，所述測試板上設有定位槽壁，所述定位槽壁與所述測試板共同界定一定位外槽；其中，所述抓取裝置的所述吸盤外周設有定位卡扣，所述定位卡扣被配置為與所述定位槽壁卡扣配合。