[實用新型]一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置

有效

• 申請號: 201821460753.0
• 申請日: 2018-09-06
• 公開（公告）號: CN208786130U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 付華良;劉艷云;顏瑞;潘學明;王家璇
• 申請（專利權）人: 常州紡織服裝職業技術學院;常州綠為環保科技有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/78;B01D53/64;B01D53/72
• 代理公司: 常州智慧騰達專利代理事務所(普通合伙) 32328
• 代理人: 曹軍

本實用新型涉及一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，屬于廢氣處理技術領域。本實用新型的砷烷/磷烷處理裝置，包括儲液箱、設置于儲液箱上并與儲液箱連通的進樣裝置、凈化塔、噴淋系統；進樣裝置包括兩端開口的連接器，連接器的頂端設有進氣口和進液口，連接器通過儲液箱的上部空間與凈化塔連通；噴淋系統包括與儲液箱連通的循環泵、連通管道、第一噴頭區、第二噴頭區；凈化塔的底部結構為帶孔的檔板；凈化塔內設有第一隔板和第二隔板將凈化塔分割為一級凈化塔和二級凈化塔；一級凈化塔和二級凈化塔內均裝有填料；一級凈化塔中的填料的上方設有第一噴頭區；二級凈化塔中填料的上方設有第二噴頭區。本實用新型的處理裝置對廢氣的處理效率高。

技術領域

本實用新型涉及一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，屬于廢氣處理技術領域。

背景技術

砷烷、磷烷是對人體有劇毒的物質，醫學毒理研究表明成人吸入250ppm的砷烷、磷烷氣體便會迅速死亡，而暴露在30ppm的砷烷、磷烷中30分鐘亦可致命。長期暴露在10ppm的砷烷、磷烷也可致命。暴露于0.5ppm的砷烷、磷烷后出現中毒癥狀。國家環保標準，環境中的砷烷、磷烷最高允許高度為5×10^-8。

砷烷主要產生于半導體工業生產中廠爐管、離子植入制程、MOCVD制程的尾氣中。而磷烷主要產生于乙炔生產、黃磷生產、飼料發酵等方面的尾氣中。單獨處理尾氣中的砷烷或磷烷的方法很多。現有技術中常采用高錳酸鉀溶液處理含砷烷/磷烷的廢氣，將高錳酸鉀溶液自上而下噴淋與含砷烷/磷烷的廢氣在噴淋塔內接觸吸收，采用高錳酸鉀氧化法處理含砷廢氣，但是高錳酸鉀與含砷廢氣進行氧化還原反應的時會產生錳的結晶物堵塞噴淋系統填料，造成設備停產。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，利用該裝置處理廢氣中的砷烷/磷烷效率高達99％。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案是：

一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，包括儲液箱、設置于所述儲液箱上并與所述儲液箱連通的進樣裝置、凈化塔、噴淋系統；所述進樣裝置包括兩端開口的連接器，所述連接器的頂端設有進氣口和進液口，所述連接器通過所述儲液箱的上部空間與所述凈化塔連通；所述噴淋系統包括與所述儲液箱連通的循環泵、連通管道、第一噴頭區、第二噴頭區；所述凈化塔的底部結構為帶孔的檔板以實現所述凈化塔與所述儲液箱氣液的流通；所述凈化塔內設有第一隔板和第二隔板將所述凈化塔分割為一級凈化塔和二級凈化塔；所述一級凈化塔和二級凈化塔內均裝有填料；所述一級凈化塔中的填料的上方設有所述第一噴頭區；所述二級凈化塔中填料的上方設有所述第二噴頭區。

進一步的，上述連接器優選為錐形連接器。進一步優選為錐形連接瓶。

所述儲液箱上安裝有pH傳感器、溫度傳感器和ORP(氧化還原電位)傳感器。

所述檔板上的孔的孔徑小于所述填料的直徑。所述孔既能實現氣液的流通而不能使填料通過。

填料可以增大氣液接觸面積及分散氣流，加大噴淋設備對廢氣的處理效率。

所述一級凈化塔和二級凈化塔串聯連接。

所述連通管道上設有溫度控制裝置。由于溫度會影響吸收液的pH，進而影響吸收液對廢氣的處理效果，本實用新型在吸收液流通的管道上設置溫度控制器，用于控制吸收液的溫度，保證吸收液作用于廢氣時具有好的凈化效果。

所述第一隔板和所述第二隔板之間的空間形成氣道供氣體流通。

所述第一隔板與所述凈化塔的頂端之間有空隙；所述第二隔板與所述凈化塔的頂端接觸。

所述第一隔板的下端由所述凈化塔延伸至所述儲液箱中的液面以下。

所述第一隔板將儲液箱中吸收液的上部空間割成第一通道和第二通道；第一通道連通與一級凈化塔相通，第二通道與二級凈化塔相連通。