[實用新型]一種三氯化硼的純化裝置

有效

• 申請號: 201821454995.9
• 申請日: 2018-09-05
• 公開（公告）號: CN208684425U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 雷海平;李相勳;張建長;呂其明;吳海峰
• 申請（專利權）人: 歐中電子材料（重慶）有限公司
• 主分類號: C01B35/06
• 分類號: C01B35/06
• 代理公司: 重慶中之信知識產權代理事務所(普通合伙) 50213
• 代理人: 林祖鋒

本實用新型公開了一種三氯化硼的純化裝置，包括三氯化硼原料罐、對液相三氯化硼中的雜質碳酰氯進行分解的光氣分解器和對光氣分解器底部的排出液進行兩級精餾提純的精餾工段；所述原料罐頂部連通有惰性氣體加壓管；光氣分解器內設置有紫外光照射燈管，光氣分解器底部連通有惰性氣體反吹管；本實用新型與現有技術相比，降低了能源的消耗，同時通過惰性氣體反吹管向光氣分解器內通入惰性氣體進行反吹，能迅速對汽液進行分離且能夠快速的將碳酰氯分解產生的氣相CO和Cl2雜質從光氣分解器頂部排出，從而提高了三氯化硼與碳酰氯的分離效果，提高了三氯化硼的純化效果。

技術領域

本實用新型涉及化工分離技術領域，具體涉及一種三氯化硼的純化裝置。

背景技術

三氯化硼，化學式為BCl₃，是一種帶臭味的無色氣體或液體。三氯化硼目前除作為有機合成催化劑和硼及其化合物的原料外，還在半導體集成電路制造行業中廣泛用作摻雜劑或蝕刻劑。隨著半導體行業的迅猛發展，集成電路精細度越來越高，因此，三氯化硼作為集成電路制造過程使用的原輔助料，它的純度要求也會越來越高。

三氯化硼的提純方法有多種，如吸附、蒸餾、氣提等，申請號為CN201410767703.7的專利文件公開了一種三氯化硼的提純方法及設備，其方法為將3N三氯化硼原料通入氣瓶提純管道內氣化，將氣化后的三氯化硼氣體依次通過分解罐加熱催化分解、水冷器冷卻、吸附罐吸附、精餾塔精餾，將所含與三氯化硼沸點接近的低沸點雜質氣體和含硅及其他金屬雜質去除，最后經低溫灌裝，完成5N三氯化硼提純。

采用上述提純設備得到的三氯化硼其純度不夠高，且能耗高。

實用新型內容

針對現有技術中所存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種三氯化硼的純化裝置，以解決現有技術中，三氯化硼粗品的提純難度大且能耗高的問題。

為實現上述目的，本實用新型采用了如下的技術方案：一種三氯化硼的純化裝置，包括三氯化硼原料罐、對液相三氯化硼中的雜質碳酰氯進行分解的光氣分解器和對光氣分解器底部的排出液進行兩級精餾提純的精餾工段；所述原料罐頂部連通有惰性氣體加壓管；光氣分解器內設置有紫外光照射燈管，光氣分解器底部連通有惰性氣體反吹管。

相比于現有技術，本實用新型具有如下有益效果：

1、本裝置從惰性氣體加壓管中向原料罐中通入帶有壓力的惰性氣體，為液相三氯化硼的純化提供流動的動力，無需外加動力，降低了能源的消耗，且對碳酰氯進行分解反應的溫度僅通過紫外光照射燈管產生的熱輻射和分離裝置與外界的交換熱即可滿足，進一步降低了能耗；

2、原料罐中的液相三氯化硼加壓后進入光氣分解器中，通過紫外光照射燈管產生紫外光對雜質碳酰氯提供催化反應條件，光氣的分解效率高，且通過惰性氣體反吹管向光氣分解器內通入惰性氣體進行反吹，能迅速對汽液進行分離且能夠快速的將碳酰氯分解產生的氣相CO和Cl₂雜質從光氣分解器頂部排出，從而提高了三氯化硼與碳酰氯的分離效果，提高了三氯化硼的純化效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的流程示意圖。

具體實施方式

下面通過具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

說明書附圖中的附圖標記包括：原料罐1、光氣分解器2、一級精餾塔3、二級精餾塔4、產品罐5、回收罐6、廢氣處理塔7、惰性氣體加壓管8、惰性氣體反吹管9、紫外光照射燈管10、精餾塔再沸器11、精餾塔冷凝器12、回收罐冷凝器13、回收罐加熱器14、產品罐冷凝器15、產品罐加熱器16、光氣分解器冷凝器17。

實施例