[實用新型]氣相HF熏蒸裝置的進氣系統及氣相HF熏蒸裝置有效
| 申請號： | 201821451059.2 | 申請日： | 2018-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN208829257U | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 孫文良;陳果;葛俊山;馬志堅 | 申請（專利權）人： | 杭州士蘭集成電路有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京博訊知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11593 | 代理人： | 柳興坤 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液態乙醇 乙醇 進氣系統 熏蒸裝置 輸出管路 氮氣輸入管路 盛裝 氮氣 本實用新型 容器內壓力 進氣支路 熏蒸 出氣口 輸出量 進氣 壓入 液面 加工 保證 | ||
1.一種氣相HF熏蒸裝置的進氣系統，其特征在于，包括氣態乙醇進氣支路，在所述氣態乙醇進氣支路上設置有盛裝有液態乙醇的容器，在所述容器上設置有氮氣輸入管路和乙醇輸出管路，其中，所述氮氣輸入管路的出氣口位于所述容器內的液態乙醇的液面之上，所述乙醇輸出管路的一端插入液態乙醇內部。
2.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述氮氣輸入管路上設置有調壓閥。
3.根據權利要求2所述的進氣系統，其特征在于，所述乙醇輸出管路上設置有蒸發器和/或第一流量控制器，所述蒸發器設置在所述流量控制器之后。
4.根據權利要求1-3任一所述的進氣系統，其特征在于，還包括氮氣進氣支路，所述氮氣進氣支路上設置有第二流量控制器。
5.根據權利要求4所述的進氣系統，其特征在于，還包括HF氣體進氣支路，所述HF氣體進氣支路上設置有第三流量控制器。
6.根據權利要求5所述的進氣系統，其特征在于，還包括進氣管路，所述進氣管路用于匯合所述氣態乙醇進氣支路、所述氮氣進氣支路以及所述HF氣體進氣支路的氣體。
7.一種氣相HF熏蒸裝置，其特征在于，包括權利要求1-6任一所述的進氣系統。
8.根據權利要求7所述的氣相HF熏蒸裝置，其特征在于，還包括反應室，所述反應室與進氣系統相連通，所述反應室為低真空腔。
9.根據權利要求8所述的氣相HF熏蒸裝置，其特征在于，還包括出氣系統，所述出氣系統用于排出所述氣相HF熏蒸裝置內的氣體，所述出氣系統包括出氣管路，所述出氣管路上設置有抽氣泵。
10.根據權利要求8或9所述的氣相HF熏蒸裝置，其特征在于，還包括加熱裝置，所述加熱裝置用于給所述進氣系統和反應室加熱。
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