[實用新型]電弧檢測等離子處理裝置

有效

• 申請號: 201821448595.7
• 申請日: 2018-09-05
• 公開（公告）號: CN209028167U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 戴斌;王賢斌;陶忠元
• 申請（專利權）人: 南京威登等離子科技設備有限公司
• 主分類號: G01R31/12
• 分類號: G01R31/12
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 杜靜靜

1.一種電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括可編程序控制器、可控高壓脈沖電源、羅茨風機、等離子腔體、高壓變壓器、光纖透鏡、石英導光柱以及電弧檢測器，所述羅茨風機通過送風軟管連接等離子腔體，所述高壓脈沖電源通過高壓變壓器連接等離子腔體，所述石英導光柱一端直接連接到等離子腔體內噴嘴，采集放電過程中產生的電弧光信號，另一端緊密連接到光纖透鏡，來自等離子腔體內的電弧光，通過光纖傳送到電弧檢測器，檢測結果送至可編程序控制器，所述可編程序控制器將控制信號發送至可控高壓脈沖電源。

2.根據權利要求1所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述電弧檢測器包括受光元件、靈敏度調節電路、電壓比較器、RC延時電路、驅動電路、基準恒壓源、三端穩壓器以及指示燈，所述受光元件通過靈敏度調節電路連接電壓比較器，基準恒壓源連接電壓比較器的輸入，輸出通過RC延時電路連接驅動電路，所述驅動電路產生工作電平輸出，連接指示燈和三端穩壓器。

3.根據權利要求2所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述可控高壓脈沖電源由220V交流供電，工作時高壓變壓器能獲得高頻高壓脈沖信號，該信號傳送到高壓電極（1），所述高壓電極位于等離子腔體內。

4.根據權利要求3所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述受光元件選用波長400~1000nm的光敏二極管，在5V的反向電壓下工作。

5.根據權利要求2所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述靈敏度調節電路使用可調電阻器改變光電流轉換成的電壓信號，實現靈敏度調節。

6.根據權利要求2所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述檢測器中的基準恒壓源采用電壓基準芯片LM385B-1.2V，電壓比較電器采用集成芯片LM393。

7.根據權利要求2所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，檢測器中的驅動電路為NPN型功率三極管，指示燈為LED發光二極管。

8.根據權利要求2所述的電弧檢測等離子處理裝置，其特征在于，所述等離子腔體內設置有等離子噴口，通過等離子電源將高壓引入內噴口，產生等離子電弧。