[實用新型]一種高低真空氣氛隔離裝置

有效

• 申請號: 201821446738.0
• 申請日: 2018-09-05
• 公開（公告）號: CN209081978U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 王進東
• 申請（專利權）人: 江蘇宇天港玻新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 合肥中谷知識產權代理事務所(普通合伙) 34146
• 代理人: 洪玲

1.一種高低真空氣氛隔離裝置，包括帶有氣體節流閥并裝配了連接軸(5)的氣缸(3)與內部兩個區域的鍍膜箱體(8)，其特征在于：所述氣缸(3)固定安裝在鍍膜箱體(8)的一側，所述連接軸(5)穿過鍍膜箱體(8)的一側側壁，所述連接軸(5)位于鍍膜箱體(8)內的一端固定安裝有密封板(6)，所述鍍膜箱體(8)的內部開設有使鍍膜箱體(8)內兩個區域相通的密封口(7)，所述氣缸(3)與鍍膜箱體(8)之間設置有密封法蘭(4)，所述密封法蘭(4)固定在鍍膜箱體(8)的側壁上。

2.根據權利要求1所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述密封法蘭(4)的上端開設有孔，孔內插有氣管(2)，所述氣管(2)的上端固定連接有前級抽氣管道(1)。

3.根據權利要求2所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述前級抽氣管道(1)的中部下端開設有螺紋孔，所述氣管(2)的上端外表面設置有連接螺紋，所述氣管(2)的上端外表面設有的螺紋與前級抽氣管道(1)的中部下端開設的螺紋孔配合連接。

4.根據權利要求2所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述前級抽氣管道(1)的左右端密封。

5.根據權利要求2所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述前級抽氣管道(1)的一端連接有吸氣機構。

6.根據權利要求1所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述密封板(6)的一側外表面遠離連接軸(5)的一側固定安裝有橡膠軟墊(9)。

7.根據權利要求1所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述密封法蘭(4)為插板閥密封法蘭。

8.根據權利要求1所述的一種高低真空氣氛隔離裝置，其特征在于：所述鍍膜箱體(8)的一側外表面固定安裝有氣缸安裝板，所述鍍膜箱體(8)與氣缸安裝板通過螺栓固定連接，所述氣缸(3)固定安裝在氣缸安裝板的表面。