[實(shí)用新型]一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821446375.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN208689360U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖功武
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江西國輝光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33228
• 代理人: 黃宗熊

1.一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置，其特征在于，它包括一玻璃基板(1)，玻璃基板(1)周圍表面上開有槽(2)，玻璃基板(1)上還開有一個(gè)通孔(3)，通孔(3)與槽(2)連通，玻璃基板(1)表面覆蓋有菲林(4)，菲林(4)完全覆蓋槽(2)，通孔(3)連接一真空泵(5)，通孔(3)與真空泵(5)之間設(shè)有一閥門(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置，其特征在于：槽(2)深為2mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于貼附曝光菲林的玻璃基板裝置，其特征在于：槽(2)的路徑不間斷圍繞玻璃基板(1)一圈。