[實用新型]晶圓傳輸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821446252.7
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN208954942U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王大為;林宗賢;吳龍江
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;H01L21/683
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種晶圓傳輸裝置，包括基座以及位于所述基座中的多根升降銷，多根升降銷用于共同支撐一晶圓，其特征在于，還包括控制器以及與多根升降銷一一對應(yīng)的多個傳感器；所述傳感器用于檢測所述晶圓與所述基座之間的距離；所述控制器連接多個所述傳感器，用于判斷多個所述傳感器檢測到的多個距離之間的差值是否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若否，則控制相應(yīng)的升降銷在豎直面內(nèi)進(jìn)行升降運(yùn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，還包括與多個升降銷一一連接的多個驅(qū)動器；所述驅(qū)動器用于驅(qū)動與其連接的升降銷在豎直面內(nèi)進(jìn)行升降運(yùn)動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述升降銷的第一端部用于承載所述晶圓、與所述第一端部相對的第二端部連接所述驅(qū)動器，所述第一端部與所述第二端部位于所述基座的相對兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述控制器同時連接多個所述驅(qū)動器，用于判斷多個所述傳感器檢測到的多個距離中的最大值與最小值之差是否在所述預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若否，則控制相應(yīng)的驅(qū)動器驅(qū)動與其連接的升降銷在豎直面內(nèi)進(jìn)行升降運(yùn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，多個所述傳感器均安裝于所述基座朝向所述晶圓的一側(cè)，且分別位于與其對應(yīng)的升降銷處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，還包括輸入組件；所述輸入組件連接所述控制器，用于用戶調(diào)整所述預(yù)設(shè)范圍。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，多根升降銷包括三根升降銷，且三根升降銷呈三角形結(jié)構(gòu)排列。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓傳輸裝置，其特征在于，所述傳感器為反射型光纖傳感器。