[實用新型]基板液刀清洗裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821438618.6 | 申請日： | 2018-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN209077224U | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 樸鎬胤 | 申請（專利權(quán)）人： | 威海電美世光機(jī)電有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/00 | 分類號： | B08B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 青島高曉專利事務(wù)所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 宋文學(xué) |
| 地址： | 264200 山東省威海*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 液刀 下刀體 刀口 本實用新型 清洗裝置 出液口 上刀體 飛濺 水滴 基板 基板表面 均勻噴灑 對基板 供給口 洗凈水 圓滑狀 輸出 | ||
本實用新型提供一種基板液刀清洗裝置，包括液刀本體(2)，所述液刀本體(2)的后端設(shè)有液刀供給口(1)，所述液刀本體(2)主要由上刀體(21)和下刀體(22)構(gòu)成，所述上刀體(21)和下刀體(22)之間設(shè)有出液刀口縫隙(5)，所述液刀口縫隙(5)的出液口為0.6mm?1mm，所述下刀體(22)在液刀口縫隙(5)出液口部位設(shè)置成圓滑狀(6)。本實用新型的有益效果是由于采用上述技術(shù)方案，實現(xiàn)洗凈水平穩(wěn)輸出，均勻噴灑在基板表面，從而不會造成水滴飛濺，解決了因水滴飛濺而對基板的后側(cè)造成影響的問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及LCD顯示基板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種液刀清洗裝置。
背景技術(shù)
在現(xiàn)有LCD工程的基板處理過程中，使用了許多較關(guān)鍵性的制作工藝，例如光刻、濕式蝕刻制作、剝離等工藝，很多工藝會需要使用如剝離液、顯像液、蝕刻液等藥液來進(jìn)行完成，在藥液處理完基板之后，會有較多的藥液存留在基板上，要使用洗凈水將基板上的藥液或其他不需要的物質(zhì)清理干凈。為了讓洗凈水能在最短的時間內(nèi)快速布滿基板，通常情況下，會在水段的前端設(shè)置液刀。
在通常的情況下，水段入口端的液刀利用其高壓將洗凈水噴射到基板上以去除基板上的藥液，為了保證噴灑效果，會將液刀的供給壓力設(shè)置為1.5kgf左右，刀體設(shè)置為 30-45度傾斜角，刀口距離基板10mm左右的位置，將洗凈水噴射到基板上。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中基板液刀清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖，圖1中液刀的構(gòu)造由前后兩部分刀體構(gòu)成，刀口出口縫隙為0.12mm-0.15mm，前后刀體靠近刀口部分為尖嘴狀。
液刀在設(shè)置過程中，如果離基板太近，會造成基板變形，基板有破裂風(fēng)險。如果傾角太小，雖然可以實現(xiàn)快速布滿，但因為有噴射力的原因會造成基板上水膜厚度不足。
在實際操作過程中，因為流速流量的原因，會存在水滴飛濺的現(xiàn)象，這會對處于液刀后側(cè)的基板造成影響。使液刀后部分，因為水滴的飛濺，處于液刀后側(cè)的基板提前接觸到洗凈水，而產(chǎn)生了工程不良，造成良品率下降。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能有效解決水滴飛濺對液刀后側(cè)基板造成影響的技術(shù)方案。
本實用新型的技術(shù)方案是：一種基板液刀清洗裝置，包括液刀本體，所述液刀本體的后端設(shè)有液刀供給口，在液刀本體的后端液刀供給口的數(shù)量為大于1個，所述液刀主體主要由上刀體和下刀體構(gòu)成，所述上刀體和下刀體之間設(shè)有出一條液刀口縫隙，液刀口縫隙與液刀供給口連接，液刀口縫隙與液刀供給口連接的一端為進(jìn)液口，遠(yuǎn)離液刀供給口的一端為出液口，所述液刀口縫隙的出液口為0.6mm-1mm，所述下刀體靠近液刀口縫隙出液口的一端并且下刀體與液刀口縫隙出液口相接觸處這一部位設(shè)置成圓滑狀，為了保證噴灑效果會將液刀的供給壓力設(shè)置為1.3-1.7kgf，這樣可以使洗凈水出刀口時，沿著下刀體的圓滑狀結(jié)構(gòu)，而變成拋落的狀態(tài)，以此來實現(xiàn)洗凈水平穩(wěn)輸出，均勻噴灑在基板表面。
進(jìn)一步限定，所述液刀本體下端設(shè)有基板支撐軸，在液刀本體和基板支撐軸中間，基板支撐軸上放置需要清洗的基板。
進(jìn)一步限定，所述液刀本體與基板支撐軸平行面之間的傾斜角為30-45度。
進(jìn)一步限定，所述液刀本體的液刀口縫隙的出液口與基板支撐軸平行面之間高度3.5-8mm。
進(jìn)一步限定，所述下刀體成圓滑狀得出液口部位的橫截面為半徑為4-6mm，弧度為125-145度的圓弧。
進(jìn)一步限定，所述下刀體成圓滑狀得出液口部位的橫截面為半徑為4-6mm，弧度為135度的圓弧。
進(jìn)一步限定，所述液刀本體為長方體結(jié)構(gòu)，所述上刀體和下刀體之間設(shè)有出液刀口縫隙為長條形。
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