[實用新型]硅棒開方設備及邊皮卸載裝置有效
| 申請號: | 201821437482.7 | 申請日: | 2018-09-03 |
| 公開(公告)號: | CN209832246U | 公開(公告)日: | 2019-12-24 |
| 發明(設計)人: | 潘雪明;李鑫 | 申請(專利權)人: | 天通日進精密技術有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 31309 上海巔石知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 張明;王再朝 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 切割 硅棒 線段 開方 線切割單元 撥線機構 卸載裝置 線切割 硅棒承載裝置 整體作業效率 線切割裝置 操作便利 提升機構 下降運動 干涉 卸載 撥動 申請 驅動 貫穿 | ||
1.一種硅棒開方設備,其特征在于,包括:
硅棒承載裝置,用于承載豎立放置的待切割硅棒;
線切割裝置,包括可升降活動的線切割支座和設于所述線切割支座上的線切割單元,所述線切割單元中具有切割線段;利用所述線切割裝置對所述硅棒承載裝置所承載的待切割硅棒進行開方切割,由所述切割線段貫穿所述待切割硅棒以形成已切割硅棒和邊皮;以及
邊皮卸載裝置,包括:邊皮提升機構,設于所述線切割支座上,用于提升所述邊皮;撥線機構,設于所述線切割支座上,用于撥動所述切割線段朝向外側擴張以避免所述切割線段與所述已切割硅棒發生干涉。
2.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述硅棒承載裝置包括硅棒承載臺。
3.根據權利要求2所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述硅棒承載裝置還包括:相對所述硅棒承載臺活動設置的硅棒頂壓機構,用于頂壓所述待切割硅棒的頂部。
4.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮提升機構包括設于所述線切割支座上且可伸縮運動的頂升件,所述頂升件受控作伸展運動后托住所述邊皮的底部以頂升所述邊皮;或者,所述邊皮提升機構包括設于所述線切割支座上且可伸縮運動的吸附件,所述吸附件受控作伸展運動后抵靠于所述邊皮并吸附所述邊皮以提升所述邊皮。
5.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述撥線機構包括撥線件和用于驅動撥線件平移的驅動源。
6.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述撥線機構包括撥線件和轉動電機,所述轉動電機通過傳動件驅動所述撥線件以沿一弧線路徑擺動。
7.根據權利要求4所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述撥線機構包括:
驅動件,設于所述頂升件或所述吸附件上并跟隨著所述頂升件或所述吸附件作伸縮運動;以及
撥線組件,受控于所述驅動件并在所述驅動件作伸展運動時撥動所述切割線段朝向外側擴張。
8.根據權利要求7所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述撥線組件包括:
受控件,與所述驅動件保持聯動;以及
撥線件,通過傳動件連接于所述受控件。
9.根據權利要求8所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述驅動件包括設于所述頂升件或所述吸附件上且沿著伸縮運動方向前后設置推桿和拉桿,所述傳動件樞接于所述線切割支座且具有第一端和第二端,所述受控件為設于所述傳動件的第一端且位于所述推桿和拉桿之間的受控桿,所述撥線件為設于所述傳動件的第二端的撥線桿。
10.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮卸載裝置還包括:邊皮夾持轉運機構,用于夾持住所述邊皮的頂部后拉升所述邊皮以使得所述邊皮脫離所述已切割硅棒以及將所述邊皮轉運至邊皮卸載區。
11.根據權利要求10所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮夾持轉運機構包括:
提供至少一個方向移動的移動機構;以及
在所述移動機構上行進的夾持結構。
12.根據權利要求11所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述夾持結構包括:
夾持主體,用于探入到多個邊皮所圍成的空間內;以及
可伸縮運動的夾持件,設于所述夾持主體外圍;所述夾持件與所述夾持主體之間形成供夾持所述邊皮的夾持空間。
13.根據權利要求11所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述夾持結構包括:第一夾持件和第二夾持件,所述第一夾持件與所述第二夾持主體之間形成供夾持所述邊皮的夾持空間。
14.根據權利要求10所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮卸載裝置還包括:邊皮筒,設于所述邊皮卸載區。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于天通日進精密技術有限公司,未經天通日進精密技術有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821437482.7/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種二極管晶圓劃片機構
- 下一篇:一種倒置式兩軸多線切割機





