[實用新型]一種氣浮平面定位平臺

有效

• 申請號: 201821432059.8
• 申請日: 2018-09-03
• 公開（公告）號: CN208744185U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 盧志偉;張君安;劉波;黃鵬;董皓;方舟;李博
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: B23Q1/62
• 分類號: B23Q1/62;B23Q1/38
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種氣浮平面定位平臺，其特征在于：包括花崗石支承平臺（1），在所述花崗石支承平臺（1）上設置有超精密花崗石基準方箱（7）、X向運動氣浮導軌部件和Y向運動氣浮導軌部件，所述超精密花崗石基準方箱（7）為矩形框架結構，超精密花崗石基準方箱（7）設置在Y向運動氣浮導軌部件內可實現超精密花崗石基準方箱（7）的Y向氣浮運動，在所述超精密花崗石基準方箱（7）的外部套設所述X向運動氣浮導軌部件，所述X向運動氣浮導軌部件為矩形框架結構，所述超精密花崗石基準方箱（7）與X向運動氣浮導軌部件之間的四個接觸面均設有氣浮結構薄膜，所述X向運動氣浮導軌部件的上端面設有X向驅動直線電機組件和X向檢測定光柵組件，X向運動氣浮導軌部件可在超精密花崗石基準方箱（7）上X向氣浮運動。

2.根據權利要求1所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述X向運動氣浮導軌部件包括X向上花崗石氣浮運動平板（4）、X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）, X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）和X向右花崗石氣浮支承滑塊（17），X向上花崗石氣浮運動平板（4）、X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）, X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）和X向右花崗石氣浮支承滑塊（17）圍成矩形框架結構，在所述X向上花崗石氣浮運動平板（4）上端面設置有若干連接孔（18），X向上花崗石氣浮運動平板（4）下端面設置有多孔集成節流器（19），在X向上花崗石氣浮運動平板（4）內設置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節流器（19）連通；在所述X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）的上端面設置有多孔集成節流器（19），X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）內設置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節流器（19）連通；在所述X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）的內側端面設置有多孔集成節流器（19），X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）內設置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節流器（19）連通；在所述X向右花崗石氣浮支承滑塊（17）的內側端面設置有多孔集成節流器（19），X向右花崗石氣浮支承滑塊（17）內設置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節流器（19）連通。

3.根據權利要求1或2所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述Y向運動氣浮導軌部件包括兩組對稱設置的Y向運動氣浮導軌單元，每組Y向運動氣浮導軌單元均包括Y向下花崗石氣浮支承導軌（8）、Y向側面花崗石氣浮支承導軌和Y向上花崗石氣浮支承導軌（12），所述超精密花崗石基準方箱（7）設置在兩組Y向運動氣浮導軌單元之間，超精密花崗石基準方箱（7）與兩組Y向運動氣浮導軌單元的上下接觸面設有氣浮薄膜，所述Y向運動氣浮導軌部件的設有Y向驅動直線電機組件（3）和Y向檢測定光柵組件。

4.根據權利要求3所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述超精密花崗石基準方箱（7）兩端部的上、下端面及側端面均設置多孔集成節流器（19），在超精密花崗石基準方箱（7）內設置供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節流器（19）連通。

5.根據權利要求4所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述X向檢測定光柵組件包括X向檢測定光柵尺（10）和X向檢測定光柵讀數頭（11）。

6.根據權利要求5所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述Y向檢測定光柵組件包括Y向檢測定光柵尺（5）和Y向檢測定光柵讀數頭（6）。

7.根據權利要求6所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述X向驅動直線電機組件包括X向驅動直線電機定子部件（15）和X向驅動直線電機動子部件（16）。

8.根據權利要求7所述氣浮平面定位平臺，其特征在于：所述兩組對稱設置的Y向運動氣浮導軌單元之間設置有調整塊（2）。