[實用新型]基于波長掃描的光譜共焦位移測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821426770.2 | 申請日： | 2018-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN208721004U | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 段發(fā)階;傅驍;黃婷婷;馬凌;張聰;程沁蕊 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201 | 代理人： | 劉國威 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單色光 本實用新型 波長掃描 輸入光纖 波長 針孔 波長掃描光源 位移測量裝置 光電探測器 光纖耦合器 光電測量 色散物鏡 焦點處 共焦 光譜 測量精度高 表面重合 電壓信號 接入光纖 精密測量 輸出光纖 輸出 耦合 點光源 反射光 非接觸 上下限 耦合器 焦點 光軸 光源 掃描 匯聚 轉(zhuǎn)換 應(yīng)用 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于波長掃描的光譜共焦位移測量裝置，其特征是，包括如下部分：波長掃描光源、輸入光纖、光纖耦合器、針孔、色散物鏡、輸出光纖、光電探測器，波長掃描光源輸出單色光，波長在上下限波長范圍內(nèi)來回掃描，光源發(fā)出的單色光耦合進輸入光纖，輸入光纖接入光纖耦合器，光纖耦合器輸出至針孔形成點光源，單色光通過色散物鏡匯聚至光軸上某一焦點處，在波長掃描過程中不同波長的單色光可形成一系列焦點，在特定時刻，某單色光的焦點恰好與待測表面重合，此時根據(jù)光路可逆，焦點處的反射光經(jīng)色散物鏡、針孔再次返回光纖耦合器，并由輸出光纖傳至光電探測器，光電探測器將光強信號轉(zhuǎn)換為電壓信號，通過測量電壓、時刻數(shù)值，進一步解算即得到待測表面位置。
2.如權(quán)利要求1所述的基于波長掃描的光譜共焦位移測量裝置，其特征是，光電探測器為光電二極管、光電三極管或光電倍增管。
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