[實用新型]一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置

有效

• 申請號: 201821424821.8
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN208635741U
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發明（設計）人: 馬鎖冬;曾春梅;戴放
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置，其特征在于：它包括寬光譜光源（1）、光束耦合器（2）、光譜調制選通器（3）、勻光耦合器（4）、光束折轉耦合器（5）、空間光調制器（6）、準直擴束鏡頭（7）、分束器（8）、軸向非消色差顯微物鏡（9）、載物臺（11）、成像鏡頭（12）、彩色相機（13）、數據傳輸控制線（14）、計算機（15）和控制器（16）；計算機（15）經數據傳輸控制線（14）分別與控制器（16）和彩色相機（13）相連；被測元件（10）置于載物臺（11）上，被測元件（10）與空間光調制器（6）在測量所采用光譜范圍的中心波長下呈物像共軛；光束折轉耦合器（5）、空間光調制器（6）、準直擴束鏡頭（7）、分束器（8）、軸向非消色差顯微物鏡（9）、成像鏡頭（12）和彩色相機（13）之間呈共光路結構；寬光譜光源（1）發出的復色光經光束耦合器（2）均勻入射至光譜調制選通器（3），控制器（16）的光譜調控輸出端與光譜調制選通器（3）連接，光譜調制選通器（3）在測量用光譜范圍內依次順序輸出特定波長的單色光，經勻光耦合器（4）和光束折轉耦合器（5），得到空間均勻分布的入射單色光光場信號，入射至空間光調制器（6）；所述空間光調制器（6）位于準直擴束鏡頭（7）的前焦面位置，控制器（16）的編碼圖像輸出端與空間光調制器（6）連接，空間光調制器（6）輸出空間編碼的單色正弦條紋光場信號，再由光束折轉耦合器（5）耦合至準直擴束鏡頭（7）成為平行光入射至分束器（8）表面；所述分束器（8）將平行單色正弦條紋光反射進入軸向非消色差顯微物鏡（9）后，照射至被測元件（10）表面，由被測面反射回的單色正弦條紋光再依次通過軸向非消色差顯微物鏡（9）和分束器（8），經成像鏡頭（12）耦合至彩色相機（13）的靶面，彩色相機（13）將采集到的圖像數據傳輸至計算機。

2.根據權利要求1所述的一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置，其特征在于：所述的光譜調制選通器為聲光調制器、基于色散元件和空間光調制器的光譜調制選通系統。

3.根據權利要求1所述的一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置，其特征在于：所述的空間光調制器為數字微鏡器件、硅基液晶。

4.根據權利要求1所述的一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置，其特征在于：所述的寬光譜光源為鹵素燈、白光LED、超連續譜激光器。

5.根據權利要求1所述的一種基于光譜調制度深度編碼的微結構形貌測量裝置，其特征在于：所述的彩色相機為彩色三芯片CCD或CMOS相機。