[實用新型]一種高效節能還原爐底盤和多晶硅還原爐

有效

• 申請號: 201821424190.X
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN208700585U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 王亞萍;甘居富;彭中;游書華;羅周;庹如剛;張聰;張杰;余濤;晏濤;劉斌
• 申請（專利權）人: 內蒙古通威高純晶硅有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種高效節能還原爐底盤，包括底盤本體，其特征在于，所述底盤本體上設有中心進料口、n個電極圈層和n-1個進料圈層，其中n≥4且n為正整數；所述電極圈層和進料圈層以中心進料口為圓心間隔設置；

每個所述進料圈層設有不少于4個進料口；

所述電極圈層從內向外計數，第一電極圈層設有4對電極，第二電極圈層設有8對電極，第三電極圈層設有12對電極……第n電極圈層設有4n對電極；同一電極圈層內相鄰兩個電極之間等間距設置；

第n個所述電極圈層外設有出料圈層，所述出料圈層設有至少兩個出料口，所述出料口等間距設置在出料圈層上。

2.如權利要求1所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，第n電極圈層包括第一電極組和第二電極組，所述第一電極組和第二電極組分別包括2n對電極；所述第一電極組和第二電極組軸對稱設置；所述第一電極組和第二電極組接入不同的供電電源。

3.如權利要求2所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，第n-1電極圈層包括第三電極組和第四電極組，所述第三電極組和第四電極組分別包括2(n-1)對電極；所述第三電極組和第四電極組呈軸對稱設置；所述第三電極組和第四電極組接入不同的供電電源。

4.如權利要求1所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，所述進料圈層上的進料口的內徑相同且小于中心進料口的內徑。

5.如權利要求1所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，所述出料圈層上出料口的數量為2x個，其中x≥2且x為正整數。

6.如權利要求1所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，在所述底盤本體上以所述中心進料口為極點，過所述第三電極圈層上任意一個電極引射線為極軸，建立極坐標系；第3y電極圈層上至少有一個電極位于極軸上，第3y-1電極圈層的電極和第3y-2電極圈層的電極對稱分布在極軸兩側，其中y為正整數且3y≤n。

7.如權利要求6所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，n＝4，第一電極圈層上初始電極的極坐標角度為22.5°，第二電極圈層上初始電極的極坐標角度為11.25°，第四電極圈層上初始電極的極坐標角度為5.625°。

8.如權利要求6所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，所述進料圈層從內向外依次包括第一進料圈層、第二進料圈層和第三進料圈層；

所述第一進料圈層等間距設有4個內圈進料口，所述內圈進料口的初始進料口的極坐標角度為45°；

所述第二進料圈層等間距設有12個中圈進料口，所述中圈進料口的初始進料口的極坐標角度為0°；

所述第三進料圈層設有8個外圈進料口，所述外圈進料口的極坐標角度分別為15°、75°、105°、165°、195°、255°、285°、345°。

9.一種多晶硅還原爐，包括如權利要求1-8任意一項所述的高效節能還原爐底盤，其特征在于，所述底盤本體外設有鐘罩形爐壁，所述鐘罩形爐壁包括分離設置的外爐壁和內爐壁；所述內爐壁為低輻射系數的材質制備的爐壁，所述外爐壁和內爐壁之間通有冷卻水。