[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821419299.4
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN209123639U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊仕品
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山市智程自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: B01D53/50
• 分類號: B01D53/50;B01D53/75;B01D53/80;B01D53/90
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器，包括：除塵機(jī)、風(fēng)機(jī)和脫硫塔，其特征在于：所述除塵機(jī)右側(cè)連接有廢氣進(jìn)氣管，所述廢氣進(jìn)氣管為輸送的是半導(dǎo)體封膠產(chǎn)生的廢氣；固定支架上方固定連接有石灰水進(jìn)料管，固定支架中部下方固定連接有霧化器，霧化器外側(cè)設(shè)置有若干噴嘴，所述脫硫塔中部設(shè)置有引流板。除塵機(jī)通過靜電除塵將廢氣中的粉塵就來沉降在粉塵預(yù)處理器內(nèi)，靜電除塵凈化效率高、阻力損失小和允許操作溫度范圍大的有點(diǎn)；通過霧化處理以及多角度噴嘴的設(shè)計，增加了石灰漿液噴灑范圍以及均勻程度，提升化學(xué)反應(yīng)的效率以及質(zhì)量；所述引流板為引流作用，使廢氣可以充分和相關(guān)脫硫劑進(jìn)行反應(yīng)，更高效的利用空間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，具體是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器。

背景技術(shù)

由于半導(dǎo)體在生產(chǎn)過程中封膠工藝，其中封膠中使用大量的有機(jī)溶劑如二氧化硫、二氧化碳、一氧化碳等空氣污染物等硫化劑，半導(dǎo)體在生產(chǎn)封膠工藝中溫度較高，會產(chǎn)生大量的廢氣，直接排放會使大量的有害氣體在大氣中，被人吸入容易中毒，長期排放會造成酸雨等災(zāi)害，嚴(yán)重污染環(huán)境。

公告號：CN風(fēng)機(jī)207429964U的專利文件提供了一種工業(yè)尾氣排放用環(huán)保處理裝置，但是在實(shí)際處理過程中，上述文件提供的處理裝置中結(jié)構(gòu)過于緊湊，導(dǎo)致處理時間短，處理效果不能得到保證，另外該裝置只采用物理方法進(jìn)行廢氣處理，效果有待提升，污染氣體構(gòu)成比較復(fù)雜，需要針對不同部分，分別進(jìn)行處理才能得到更加高效穩(wěn)定的效果，所以實(shí)用新型一種同時使用物理和化學(xué)方法多層次處理廢氣的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器很有必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體生產(chǎn)硫化劑廢氣處理器，包括：除塵機(jī)、風(fēng)機(jī)和脫硫塔，所述除塵機(jī)右側(cè)連接有廢氣進(jìn)氣管，所述廢氣進(jìn)氣管為輸送的是半導(dǎo)體封膠產(chǎn)生的廢氣，除塵機(jī)通過靜電除塵(利用靜電場使氣體電離從而使塵粒帶電吸附到電極上的收塵方法)將廢氣中的粉塵就來沉降在粉塵預(yù)處理器內(nèi)，所述風(fēng)機(jī)通過粉塵處理排氣管和除塵機(jī)連通，風(fēng)機(jī)將除塵機(jī)內(nèi)的氣體加壓并經(jīng)過風(fēng)機(jī)右側(cè)的脫硫塔進(jìn)氣管釋放到脫硫塔內(nèi)；所述脫硫塔頂部設(shè)置安裝有固定支架,固定支架上方固定連接有石灰水進(jìn)料管，所述石灰水進(jìn)料管穿過脫硫塔頂部與石灰發(fā)生槽連通，所述脫硫塔中部設(shè)置有噴灑連接桿，所述脫硫塔右側(cè)固定安裝有脫硫處理排氣管，脫硫處理排氣管右側(cè)固定安裝有排放槽，所述排放槽中部設(shè)置有吸附層，所述排放槽頂部上端固定安裝有干燥層。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：粉塵預(yù)處理器內(nèi)設(shè)置有粉塵出口，粉塵出口緊配安裝有限位銷,限位銷表面設(shè)置有硅膠墊層，硅膠墊層具有一定的延展性，可以保證良好的密封性，所述粉塵預(yù)處理器下側(cè)和活塞內(nèi)設(shè)置有定位銷孔，通過定位銷孔緊配安裝有限位銷。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：石灰發(fā)生槽產(chǎn)生熟石灰漿液，固定支架中部下方固定連接有霧化器，霧化器外側(cè)設(shè)置有若干噴嘴，所述霧化器將熟石灰漿液霧化經(jīng)過噴嘴進(jìn)行噴灑，通過霧化處理以及多角度噴嘴的設(shè)計，增加了石灰漿液噴灑范圍以及均勻程度，提升化學(xué)反應(yīng)的效率以及質(zhì)量。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：噴灑連接桿為鋁合金鋼管，直徑為15-20mm，所述氧化劑噴嘴，所述噴灑連接桿為環(huán)形設(shè)計，噴灑連接桿上均勻分布有若干氧化劑噴嘴，所述噴灑連接桿外側(cè)穿過脫硫塔外壁連接有氧化發(fā)生槽，氧化發(fā)生槽提供氧化劑和催化劑，通過若干個氧化劑噴嘴進(jìn)行噴灑在脫硫塔內(nèi)，提升脫硫反應(yīng)的效率，同時也會對一氧化塔燈廢氣廢氣進(jìn)行處理。

作為本實(shí)用新型再進(jìn)一步的方案：脫硫塔中部設(shè)置有引流板，所述引流板為引流作用，將廢氣從脫硫塔左上引入到左上再經(jīng)過右上到達(dá)右下的氣體路徑，使廢氣可以充分和相關(guān)脫硫劑進(jìn)行反應(yīng)，更高效的利用空間。