[實用新型]硅片輸送機構

有效

• 申請號: 201821418243.7
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208674158U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 鄧偉;張建峰;王森;朱元
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種硅片輸送機構，包括工作臺、相互平行且間隔設置于所述工作臺上的若干下料輸送線，設于所述下料輸送線的出料端的轉向輸送線組、控制單元，所述下料輸送線沿第一方向延伸，所述轉向輸送線組沿第二方向延伸；其特征在于：所述硅片輸送機構還包括用以對輸送至所述出料端的硅片進行檢測的檢測裝置、靠近所述出料端且與若干所述下料輸送線一一對應的若干擋板組件，所述擋板組件包括驅動件、與所述驅動件相連接的擋板，所述驅動件用以驅動所述擋板在第一位置和第二位置之間切換，所述擋板位于第一位置時以阻止位于出料端的硅片沿第一方向輸送，所述擋板位于第二位置時使位于出料端的硅片能夠沿第一方向輸送出所述下料輸送線；所述檢測裝置、驅動件均與所述控制單元通訊連接。

2.如權利要求1所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述驅動件為驅動所述擋板升降的氣缸。

3.如權利要求1所述的硅片輸送機構，其特征在于：每一所述下料輸送線包括分段控制的輸送段以及出料段，所述出料端位于所述出料段遠離所述輸送段的一端。

4.如權利要求3所述的硅片輸送機構，其特征在于：每一所述出料段包括兩個相互平行且間隔設置于所述工作臺上的出料輸送組件以及用以驅動兩個所述出料輸送組件同步啟停的驅動組件；所述轉向輸送線組包括與所述出料段一一對應的若干轉向輸送線，且所述轉向輸送線位于與該轉向輸送線相對應的出料段的兩個出料輸送組件之間。

5.如權利要求4所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述轉向輸送線包括固定于所述工作臺上的升降機以及與所述升降機的輸出端連接的轉向輸送線本體，所述升降機與所述控制單元電性連接。

6.如權利要求4所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述轉向輸送線組還包括固定于所述工作臺上的兩個轉向出料輸送線，兩個所述轉向出料輸送線分別位于所述若干下料輸送線的相對的兩側。

7.如權利要求1所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述硅片輸送機構還包括固定于所述工作臺上的收容部，所述收容部位于所述擋板組件背離所述出料端的一側。

8.如權利要求7所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述收容部包括導引板、連接于所述導引板的下端且向上傾斜延伸的底板。

9.如權利要求1所述的硅片輸送機構，其特征在于：所述檢測裝置為攝像模塊或者光電傳感器或者光纖傳感器。