[實用新型]氣體微粒檢測裝置有效
| 申請號: | 201821415023.9 | 申請日: | 2018-08-30 |
| 公開(公告)號: | CN209690124U | 公開(公告)日: | 2019-11-26 |
| 發明(設計)人: | 莫皓然;陳世昌;廖家淯;韓永隆;黃啟峰;蔡長諺;李秋霖;陳宣愷;李偉銘 | 申請(專利權)人: | 研能科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G01N15/06 | 分類號: | G01N15/06 |
| 代理公司: | 72003 隆天知識產權代理有限公司 | 代理人: | 聶慧荃;鄭特強<國際申請>=<國際公布> |
| 地址: | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼: | 中國臺灣;TW |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 微粒傳感器 氣體傳輸 致動器 懸浮微粒 激光模塊 激光光束照射 激光光束 檢測裝置 氣體微粒 清潔作業 精準度 檢測 噴出 沾附 發射 流通 分析 | ||
1.一種氣體微粒檢測裝置,用以檢測空氣中懸浮微粒的濃度,其特征在于,包含:
一氣體傳輸致動器;
一微粒傳感器,對應該氣體傳輸致動器的位置而設置;
一光機構,設置于該氣體傳輸致動器與該微粒傳感器之間,所述光機構具有一氣體流道;
一激光模塊,設置于該氣體傳輸致動器與該微粒傳感器之間,并架構于所述光機構上,使該激光模塊發射一激光光束至該氣體傳輸致動器與該微粒傳感器之間;以及
一殼體,具有一進氣口、一出氣口;
該光機構設置于該殼體內,該光機構的該氣體流道連通該殼體的該進氣口以及該出氣口;
其中,流通在氣體傳輸致動器與該微粒傳感器之間的氣體由激光光束照射,并由該微粒傳感器分析空氣中懸浮微粒大小,以及計算出空氣中懸浮微粒的濃度。
2.如權利要求1所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,
該光機構具有一氣體流道、一光束通道、一光源設置槽以及一容置槽;
該光束通道連通該氣體流道,以及該激光模塊架構于該光源設置槽內,借此,該激光模塊可對該光束通道發射激光光束,以照射通過該氣體流道的氣體;
該容置槽是用以容置該氣體傳輸致動器;以及
該微粒傳感器設置設于該氣體流道內,并位于該氣體流道遠離該氣體傳輸致動器的一端,以檢測激光光束照射該氣體流道中的氣體后,懸浮微粒所產生的折射光點,借此檢測并計算空氣中所包含懸浮微粒的大小與懸浮微粒的濃度。
3.如權利要求2所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該氣體傳輸致動器包括:
一噴氣孔片,具有多個連接件、一懸浮片及一中空孔洞,該懸浮片可彎曲振動,該噴氣孔片通過該多個連接件設置并定位于該容置槽中,借此,該噴氣孔片并與該容置槽的一底面之間形成一氣流腔室,且該多個連接件及該懸浮片與該容置槽之間形成至少一空隙;
一腔體框架,承載疊置于該懸浮片上;
一致動器,承載疊置于該腔體框架上,借由施加電壓而產生往復式地彎曲振動;
一絕緣框架,承載疊置于該致動器上;以及
一導電框架,承載疊設置于該絕緣框架上;
其中,該致動器、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室,通過驅動該致動器帶動該噴氣孔片產生共振,使該噴氣孔片的該懸浮片產生往復式地振動位移,以造成該氣體通過該至少一空隙進入該氣流腔室,再排出至該氣體流道中。
4.如權利要求3所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該致動器包括:
一壓電載板,承載疊置于該腔體框架上;
一調整共振板,承載疊置于該壓電載板上;以及
一壓電片,承載疊置于該調整共振板,借由施加電壓而驅動該壓電載板及調整共振板產生往復式地彎曲振動。
5.如權利要求4所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該調整共振板的厚度大于該壓電載板的厚度。
6.如權利要求3所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該光機構的該容置槽,該容置槽具有多個固定槽。
7.如權利要求6所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該多個連接件具有一固定部及一連接部,其中該固定部與該固定槽在形狀上相對應,該連接部連接于該懸浮片及該固定部之間,該連接部彈性支撐該懸浮片,供該懸浮片進行往復式地彎曲振動。
8.如權利要求1所述的氣體微粒檢測裝置,其特征在于,該氣體傳輸致動器包括:
一進氣板,具有至少一進氣孔、至少一對應該進氣孔位置的匯流排槽以及一匯流腔室,該進氣孔用以導入氣體,該匯流排槽用以引導自進氣孔導入的氣體至該匯流腔室;
一共振片,具有一對應該匯流腔室位置的中空孔,以及一圍繞該中空孔周圍的可動部;以及
一壓電致動器,與該共振片在位置上相對應設置,該共振片與該壓電致動器之間形成一腔室空間,用以使該壓電致動器受驅動時,使氣體由該進氣板的該進氣孔導入,經該匯流排槽匯集至該匯流腔室,再通過該共振片的該中空孔,使得該壓電致動器與該共振片的該可動部產生共振以傳輸氣體;以及
其中,該進氣板、該共振片以及該壓電致動器依序堆疊設置。
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