[實用新型]一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置

有效

• 申請號: 201821414463.2
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN209010597U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 李朝陽;張留新;樊利芳;阮詩倫;王新宇
• 申請（專利權）人: 鄭州大工高新科技有限公司;大連理工大學重大裝備設計與制造鄭州研究院
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C01B32/186
• 代理公司: 鄭州浩德知識產權代理事務所(普通合伙) 41130
• 代理人: 邊鵬

1.一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，包括傳送架體、設置在傳送架體上的傳送裝置、設置在傳送架體的后邊緣處的氣相反應窯、以及設置在傳送架體前方的機械手，其特征在于：所述的傳送裝置包括傳送架體上設置的一圈傳送帶，所述的傳送帶沿著傳送架體的邊緣圍成一圈和沿著傳送架體的邊緣進行順時針傳動，所述的氣相反應窯包括沿著傳送架體的后邊緣從左到右依次設置有窯體預熱區、窯體加熱反應區以及冷卻區，所述的傳送架體的后邊緣處的傳送帶依次穿過窯體預熱區、窯體加熱反應區以及冷卻區，所述的窯體預熱區上設置有保護氣體入口，所述的窯體加熱反應區上設置有反應氣體入口，所述的冷卻區上設置有冷卻氣體入口，所述的機械手用于向傳送帶上裝載半成品基材和從傳送帶上卸載碼垛成品。

2.根據權利要求1所述的一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，其特征在于：所述的機械手的左側為上料區，所述的上料區用于堆放半成品基材，所述的機械手的左側為成品卸載區，所述的成品卸載區用于堆放成品。

3.根據權利要求1所述的一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，其特征在于：所述的窯體預熱區左側設置有半成品入口，所述的傳送架體的后邊緣處的傳送帶通過半成品入口穿入窯體預熱區，所述的半成品入口處匹配設置有窯門一，所述窯門一匹配滑動安裝在窯體預熱區上，所述的窯門一上下滑動。

4.根據權利要求1所述的一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，其特征在于：所述的冷卻區右側設置有成品出口，所述的傳送架體的后邊緣處的傳送帶通過成品出口穿出冷卻區，所述的成品出口處匹配設置有窯門二，所述窯門二匹配滑動安裝在冷卻區上，所述的窯門二上下滑動。

5.根據權利要求1所述的一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，其特征在于：還包括廢氣處理裝置，所述的廢氣處理裝置經過管道與窯體預熱區、窯體加熱反應區和冷卻區均連通，所述的窯體預熱區、窯體加熱反應區和冷卻區中的廢氣經管道進入廢氣處理裝置內被集中環保處理。

6.根據權利要求1所述的一種新型氣相沉積法制備石墨烯的生產裝置，其特征在于：所述的冷卻區上設置有熱廢氣出口，所述的熱廢氣出口通過管道與窯體預熱區相連通。