[實用新型]一種加熱旋轉襯底臺

有效

• 申請號: 201821409073.6
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208803141U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 王燕麗;王昕濤
• 申請（專利權）人: 東莞市典雅五金制品有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/50
• 代理公司: 東莞眾業知識產權代理事務所(普通合伙) 44371
• 代理人: 何恒韜

1.一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：包括基片架和控制基片架加熱、旋轉及前后來回移動的控制組件，所述控制組件包括CF法蘭、驅動基片架旋轉的第一驅動組件和用于使基片架前后來回移動的移動組件，所述第一驅動組件包括傳動軸、齒輪組件和第一驅動電機，所述基片架與傳動軸的一端固定連接，所述傳動軸的另一端穿過CF法蘭通過齒輪組件與第一驅動電機的輸出軸固定連接，所述移動組件包括滑座和導向桿，所述導向桿沿水平橫向裝設于CF法蘭上，所述導向桿與傳動軸平行設置，所述滑座滑動安裝于導向桿上，所述第一驅動電機固定安裝于滑座上，所述基片架上設有用于對基片進行加熱的加熱器。

2.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述移動組件還包括驅動滑座沿導向桿方向來回移動的第二驅動組件，所述第二驅動組件包括渦輪、蝸桿、絲桿和第二驅動電機，所述絲桿固定安裝于滑座上，所述蝸桿套設于絲桿上，所述第二驅動電機固定安裝于CF法蘭上，所述渦輪與第二驅動電機的輸出軸固定連接，所述渦輪和蝸桿相互嚙合。

3.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述導向桿為三個，兩個導向桿分設于傳動軸的兩側，另外一個導向桿平行設置于傳動軸的下方。

4.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述齒輪組件包括傳送齒輪和主動齒輪，所述傳動齒輪與傳動軸固定連接，所述主動齒輪與第一驅動電機的輸出軸固定連接，所述傳動齒輪與主動齒輪相互嚙合。

5.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述基片架的外側周圍裝設有熱屏蔽件。

6.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述控制組件還包括溫控器，所述溫控器固定安裝于滑座上，所述加熱器與溫控器電連接。

7.根據權利要求6所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述基片架內裝設有熱電偶傳感器，所述熱電偶傳感器與溫控器電連接。

8.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述基片架與傳動軸之間設有冷卻塊。

9.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：還包括密封套和密封圈，所述傳動軸與CF法蘭之間裝設有軸承，所述密封套軸向開設有與軸承適配的第一容置槽、與密封圈適配的第二容置槽和與傳動軸適配的通槽，所述第一容置槽、第二容置槽和通槽相互連通，所述密封圈裝設于第二容置槽中。

10.根據權利要求1所述的一種加熱旋轉襯底臺，其特征在于：所述控制組件還包括用于向溫控器輸入直流電的輸入端子，所述輸入端子與溫控器電連接。