[實用新型]玻璃鍍膜工藝氣體出氣管

有效

• 申請號: 201821405987.5
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN208684773U
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 石祖強
• 申請（專利權）人: 重慶市渝大節能玻璃有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00;C23C14/35
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217
• 代理人: 成艷

本實用新型公開了玻璃濺射鍍膜加工領域內的玻璃鍍膜工藝氣體出氣管，包括一豎向管和一橫向管，橫向管連通在豎向管的中部，橫向管內可拆卸連接有管狀的振動防粘套，振動防粘套的內壁上固定有若干柔性材料制成的防粘帶，振動防粘套靠近豎向管一端的頂部設有傾斜的過濾網板，過濾網板的高端與振動防粘套固定，過濾網板位于豎向管內，豎向管的下端連接有集塵袋。本實用新型可解決現有技術中濺射的膜層材料會在工藝氣體排出通道內附著堆積的問題。

技術領域

本實用新型涉及玻璃濺射鍍膜加工領域，具體涉及一種玻璃鍍膜工藝氣體出氣管。

背景技術

磁控濺射低輻射鍍膜玻璃的生產過程是將玻璃在真空鍍膜系統中輸送，輸送過程中在電源和真空環境及工藝氣體的配合下通過旋轉陰極或平面陰極電離出等離子體，并產生對靶材的濺射形成對玻璃的鍍膜。濺射鍍膜過程中采用的工藝氣體包括Ar、O₂、N₂，金屬靶的濺射僅需要通Ar氣，而對于氧化物和氮化物等反應濺射的膜系，還需要通O₂、N₂等反應氣體。作為膜層均勻性調整的主要手段，工藝氣體的分布均勻性非常重要。目前通用的方法是對工藝氣體管路沿玻璃板橫向分段進行控制。為了阻止工藝氣體從一個濺射單元滲透到另一個濺射單元，通常設置氣體隔離裝置，使兩個濺射單元互不影響，其通常包括設置在濺射單元中旋轉陰極或平面陰極兩側上部的工藝氣體排出通道。現有技術中的工藝氣體排出通道均為位于陰極上部兩側的空腔，通過在空腔的頂部連通分子泵進行工藝氣體的排出以保證鍍膜的真空環境。但是在濺射鍍膜的過程中從陰極濺射到玻璃上的膜層材料會積累部分在陰極所述的濺射腔室內，在工藝氣體排出的過程中會裹挾部分濺射的膜層材料，這部分膜層材料在通過工藝氣體排出通道的過程中極易粘附在通道內，時間長了會對工藝氣體排出通道造成堵塞，使得工藝氣體排出不暢，影響玻璃的濺射鍍膜質量，也會對分子泵造成較大的磨損，大幅縮短分子泵的使用壽命，一定程度上增加了設備的維修保養成本。

實用新型內容

本實用新型意在提供玻璃鍍膜工藝氣體出氣管，以解決現有技術中濺射的膜層材料會在工藝氣體排出通道內附著堆積的問題。

為達到上述目的，本實用新型的基礎技術方案如下：玻璃鍍膜工藝氣體出氣管，包括一豎向管和一橫向管，橫向管連通在豎向管的中部，橫向管內可拆卸連接有管狀的振動防粘套，振動防粘套的內壁上固定有若干柔性材料制成的防粘帶，振動防粘套靠近豎向管一端的頂部設有傾斜的過濾網板，過濾網板的高端與振動防粘套固定，過濾網板位于豎向管內，豎向管的下端連接有集塵袋。

本方案的原理是：實際應用時，豎向管和橫向管作為工藝氣體的排出通道，橫向管與陰極的濺射鍍膜腔室連通，豎向管的頂端與分子泵連通，豎向管底端的集塵袋作為工藝氣體裹挾的濺射膜層材料的收集結構。可拆卸連接在橫向管內的管狀振動防粘套作為工藝氣體在橫向管內的通道，可拆卸的方式便于取出進行清理，防粘帶用于在工藝氣體流動過程中產生振動擊打振動防粘套內壁防止濺射膜層材料粘附，過濾網板對工藝氣體中裹挾的濺射膜層材料進行過濾阻擋，并將過濾的膜層材料導向至集塵袋中。

本方案的優點是：1、采用柔性材料制成的防粘帶，利用工藝氣體流動造成防粘帶的震顫阻止氣流中裹挾的濺射膜層材料粘附在通道內，可有效避免排出的工藝氣體中裹挾的濺射膜層材料粘附在工藝氣體排出通道內造成堵塞；2、采用在橫向管內可拆卸連接的振動防粘套可進行拆卸清理，進一步避免濺射膜層材料對工藝氣體排出通道的堵塞；3、過濾網板的設置可對排出的工藝氣體中裹挾的濺射膜層材料進行過濾，避免造成分子泵的磨損，可提高分子泵的使用壽命；4、通過豎向管及集塵袋的設置可對過濾的濺射膜層材料進行收集，便于集中處理。

進一步，振動防粘套遠離豎向管的端部周向延展形成環狀的封板。作為優選這樣設置通過封板可對橫向管與振動防粘套之間的間隙在濺射鍍膜腔室連通的部位進行封堵，避免濺射膜層材料進入橫向管與振動防粘套之間的間隙內。