[實(shí)用新型]適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821405882.X | 申請(qǐng)日： | 2018-08-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208844180U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 解孝輝;吳壯;張青濤 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 吳江南玻華東工程玻璃有限公司;中國(guó)南玻集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35;C23C14/52 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103 | 代理人： | 孫仿衛(wèi);都春燕 |
| 地址： | 215222 江蘇省蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 觀察窗 檢漏 套筒 搖臂 接頭組件 搖臂腔體 密封組件 真空磁控濺射鍍膜 配合 本實(shí)用新型 檢漏儀 連接管 密閉 卡箍 離線 腔室 連接管連接處 接口處 準(zhǔn)確率 角閥 嵌設(shè) | ||
1.一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其配合的將所述觀察窗搖臂和檢漏儀接口處角閥的連接管相連，所述觀察窗搖臂包括主軸、套設(shè)在所述主軸外側(cè)的搖臂腔體、嵌設(shè)于所述搖臂腔體和所述主軸之間的第一密封組件以及與所述主軸的一側(cè)端部固定相連的把手，其特征在于：所述接頭組件包括套筒、用以將所述套筒的一側(cè)端部與所述搖臂腔體配合的密閉相連的第一卡箍、配合的設(shè)于所述套筒與所述搖臂腔體連接處的第二密封組件、用以將所述套筒的另一側(cè)端部與所述連接管配合的密閉相連的第二卡箍以及配合的設(shè)于所述套筒與所述連接管連接處的第三密封組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述套筒包括與所述搖臂腔體相配合的第一筒段以及與所述連接管相配合的第二筒段，所述第一筒段和所述第二筒段之間設(shè)有臺(tái)階。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述第一筒段的外徑與所述搖臂腔體的外徑配合設(shè)置，所述第二筒段的外徑與所述連接管的外徑配合設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述搖臂腔體的外周部設(shè)有第一凸緣，所述第一筒段的外側(cè)端部設(shè)有與所述第一凸緣相配合的第二凸緣，所述第一卡箍配合的套設(shè)在所述第一凸緣和所述第二凸緣上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述搖臂腔體包括第一腔體段和第二腔體段，所述第一腔體段和所述第二腔體段的分界處設(shè)有所述第一凸緣，所述第一腔體段的外徑小于所述第二腔體段的外徑，當(dāng)所述套筒與所述搖臂腔體相裝配時(shí)，所述第一筒段套設(shè)于所述第一腔體段的外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述第一凸緣和所述第二凸緣相對(duì)設(shè)置，所述第二密封組件包括卡設(shè)于所述第一凸緣和所述第二凸緣之間的第一中心環(huán)以及套設(shè)于所述第一中心環(huán)上的第一O型圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述連接管的端部設(shè)有第三凸緣，所述第二筒段的外側(cè)端部設(shè)有與所述第三凸緣相配合的第四凸緣，所述第二卡箍配合的設(shè)于所述第三凸緣和所述第四凸緣上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述第三凸緣和所述第四凸緣相對(duì)設(shè)置，所述第三密封組件包括卡設(shè)于所述第三凸緣和所述第四凸緣之間的第二中心環(huán)以及套設(shè)于所述第二中心環(huán)上的第二O型圈。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述搖臂腔體的兩端部與所述主軸配合安裝的部位均設(shè)有卡接組件，所述卡接組件包括銅墊片和卡簧，所述第一密封組件設(shè)于兩所述卡接組件之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種適用于真空磁控濺射鍍膜腔室觀察窗搖臂離線檢漏的接頭組件，其特征在于：所述第一密封組件包括由所述搖臂腔體的外次朝向內(nèi)側(cè)依次嵌設(shè)于所述主軸和所述搖臂腔體之間的骨架油封、多個(gè)X型密封圈、間隔墊片和調(diào)整墊片。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
